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碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業(yè)烘箱

參考價 98900
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2023/9/15 13:52:25
  • 訪問次數914
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產、銷售及服務的企業(yè)。主要生產半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內部實施了CRM、ERP項目管理,在產品開發(fā)、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質 不銹鋼 工作室尺寸 45mm
功率 2500 加工定制
類型 真空 溫度范圍 200℃
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵等材料表面后,經系統(tǒng)加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯(lián)劑的作用
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業(yè)烘箱 產品信息

碳化硅HMDS烘箱的背景

   碳化硅作為第三代半導體材料的典型代表,也是目前晶體生產技術和器件制造水平成熟,應用廣泛的寬禁帶半導體材料之一,目前已經形成了全球的材料、器件和應用產業(yè)鏈。

   碳化硅(SiC)是由硅(Si)和碳(C)組成的化合物半導體材料。其結合力非常強,在熱、化學、機械方面都非常穩(wěn)定。SiC存在各種多型體(多晶型體),它們的物理特性值各有不同。

碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱的作用

  HMDS烘箱將HMDS氣相沉積至半導體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經系統(tǒng)加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結合,起著偶聯(lián)劑的作用。

碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱主要性能:

空間(mm):300*300*300

       450*450*450

       600*600*600,可定制

適用產品:兼容1-12寸晶圓及碎片

溫度范圍:RT+10-250℃

溫度穩(wěn)定度:≤±0.5℃

真空度:≤133pa(1torr)

材質:316L不銹鋼+冷軋板噴塑

HMDS系統(tǒng):密閉設計,自動開啟,數據可設定

液位計:低液位報警

儲液瓶:HMDS儲液量1000ml 

真空泵:無油渦旋真空泵

運行時間:20Min

計量單位:S/Pa

運行方式:自動運行

進氣:N2

排氣:有機排放

電源:220V、50-60HZ

功率:2800W



關鍵詞:真空泵
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