抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘層鍍膜機(jī)的應(yīng)用:
納米壓印是一種不同于傳統(tǒng)光刻技術(shù)的全新圖形轉(zhuǎn)移技術(shù),其能夠把納米圖形從模板“復(fù)制”到基片上,具有產(chǎn)量高、成本低和工藝簡單的優(yōu)點(diǎn)。為實(shí)現(xiàn)一些特殊形狀的壓印,需要提供一種具有納米結(jié)構(gòu)的彈性模板。 為了制作納米壓印彈性模板,一般是提供一具有納米壓印結(jié)構(gòu)的母板,繼而將納米壓印膠均勻地涂覆到沉積了抗粘層的母板上,然后再在納米壓印膠層遠(yuǎn)離母板的一側(cè)涂覆形成有一彈性支撐層,在彈性支撐層固化后,將彈性支撐層與母板分開。
在基片與彈性支撐層之間還形成有抗黏層,抗黏層一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。然而抗粘劑的蒸鍍,尤為重要。
抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘層鍍膜機(jī)技術(shù)性能:
腔體尺寸:350×350×350、450×450×450、600×600×600(mm)可自定
材質(zhì): 316L科研級不銹鋼
溫度范圍:80-250℃
溫度分辨率: 0.1℃
溫度波動(dòng)度: ≤±0.5
真空度:≥1torr
真空泵:干泵
電源及總功率:AC 220V±10% / 50HZ , 2.5KW
控制方式:人機(jī)界面+PLC智能
輔助氣體: 氮?dú)猓∟?)
抗粘劑:一路或2路
鍍膜方法:氣相成底膜
抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘層鍍膜機(jī)的特點(diǎn):
鍍膜處理更加均勻;
時(shí)間短,效率高;
更加節(jié)省抗粘劑;
更加環(huán)保和安全;
自動(dòng)吸取抗粘劑。