一、概述
ME-L 是一款科研級(jí)全自動(dòng)高精度穆勒矩陣型橢偏儀，凝聚了頤光科研團(tuán)隊(duì)在橢偏技術(shù)多年的投入，其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù)，具備 1 全穆勒矩陣測(cè)量技術(shù)， 2 雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步控制技術(shù)，3 超級(jí)消色差補(bǔ)償器設(shè)計(jì)技術(shù)，4 納米光柵表征測(cè)量技術(shù) 等技術(shù)?？蓱?yīng)用于各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及一維/二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表征分析，代表當(dāng)今橢偏行業(yè)比較高的技術(shù)水平。
■ 雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器(DRC)配置一次測(cè)量全部穆勒矩陣16個(gè)元素；
■ 配置自動(dòng)變角器、五維樣件控制平臺(tái)等優(yōu)質(zhì)硬件模塊；
■ 軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì)，易上手、操作便捷；
■ 豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù)，保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)；
■ 可實(shí)現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理，測(cè)量信息量更大，測(cè)量速度快、數(shù)據(jù)更加精準(zhǔn)；
■ 基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置，可一次測(cè)量獲得全穆勒矩陣的16個(gè)元素，相對(duì)傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面測(cè)量信息；
■ 頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜；
■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù)，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；
■ 集成對(duì)納米光柵的分析，可同時(shí)測(cè)量分析納米結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息；
三、產(chǎn)品應(yīng)用
■ 半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu)：介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜，激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件等；
■ 半導(dǎo)體周期性納米結(jié)構(gòu)：納米光柵，套刻誤差，T型相變存儲(chǔ)器等；
■ 新材料，新物理現(xiàn)象研究：材料光學(xué)各向異性，電光效應(yīng)、彈光效應(yīng)、聲光效應(yīng)、磁光效應(yīng)、旋光效應(yīng)、Kerr效應(yīng)、Farady效應(yīng)等；
■ 平板顯示：TFT、OLED、等離子顯示板、柔性顯示板等；
■ 光伏太陽(yáng)能：光伏材料（如Si3N4、Sb2Se3、Sb2S3、CdS等）反射率，消光系數(shù)測(cè)量，膜層厚度及表面粗糙度測(cè)量等；
■ 功能性涂料：增透型、自清潔型、電致變色型、鏡面性光學(xué)涂層，以及高分子、油類(lèi)、Al2O3表面鍍層和處理等；
■ 生物和化學(xué)工程：有機(jī)薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子層、薄膜吸附、表面改性處理等；
■ 塊狀材料分析：固體（金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)等）或液體（純凈物或混合物）的折射率n和消光系數(shù)k表征，玻璃新品研發(fā)和質(zhì)量控制等。
四、技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | ME-L |
| 應(yīng)用 | 科研級(jí)/企業(yè)級(jí) |
| 基本功能 | Psi/Delta、R/T、穆勒矩陣等光譜 |
| 分析光譜 | 380-1000nm（支持?jǐn)U展至193-2500nm） |
| 單次測(cè)量時(shí)間 | 1-8 s |
| 重復(fù)性測(cè)量精度 | 0.005nm |
| 精度 （直通測(cè)量空氣） | 橢偏參數(shù)：Ψ= 45±0.05° Δ= 0±0.1° |
| 穆勒矩陣：對(duì)角元素 m=1±0.005 | |
| 非對(duì)角元素 m=0±0.005 | |
| 折射率重復(fù)性精度 | 0.0005 |
| 光斑大小 | 大光斑：2-4mm |
| 微光斑：200μm/100um | |
| 超微光斑：≤50um |
● 重復(fù)性精度指標(biāo)針對(duì)100nmSiO2/Si標(biāo)準(zhǔn)樣件30次重復(fù)性測(cè)量；
● 儀器具體技術(shù)參數(shù)需與實(shí)際功能模塊、配件有關(guān)，表中數(shù)據(jù)僅供參考
五、可選配置
波段選擇
V : 380-1000nm VN :380-1650nm
UV :245-1000nm UN :210-1650nm
UV+ :210-1000nm DN :193-1650nm
DUV :193-1000nm UN+ :210- 2500nm
角度選擇
自動(dòng) ：45-90°
手動(dòng) ：45-90°（5°步進(jìn)）
固定 ：65°
其它選擇
Mapping選擇 : 4~12英寸（供參考，按需定制）
溫控臺(tái): -193~1000℃（供參考，按需定制）
