晶圓專用接觸角測量儀接觸角原理：

所謂接觸角，指在一固體水平平面上滴一液滴，固體表面上的固—液—氣三相交界點處，其氣—液界面和固—液界面兩切線把液相夾在其中所成的角。

晶圓專用接觸角測量儀規(guī)格參數(shù)：

1.   測量范圍：0～180°

2.   分辨率：0.01°

3.   測值精度：±0.1°(θ/2 法)

4.   儀器尺寸：約W600×D1200×H800mm

5.   儀器重量：約18kg

6.   使用電源：1∮ AC220V 50HZ

晶圓專用接觸角測量儀硬件指標：

1. 樣品臺及其控制：

1.1. 樣品臺移動：

X×Y行程：100×100mm手動，精度：0.1mm

Z行程：25mm手動，精度：0.01mm

1.2. 樣品臺大?。?span>?400mm(可選配真空吸盤)

1.3. 樣品臺旋轉(zhuǎn)：水平旋轉(zhuǎn)

1.4. 水平控制：樣品臺水平控制、鏡頭水平控制和整機四腳水平

2. 進液系統(tǒng)及其控制：

2.1. 進液系統(tǒng)：手控式注射泵系統(tǒng)

2.2. 進液器：高精度可更換針頭氣密玻璃針管50ul、100ul

2.3. 針頭：0.7mm標準針頭、聚四氟乙烯針頭

2.4. 進樣器控制：

X×Y行程：12.5×12.5mm手動，精度：0.01mm

Z行程：25mm手動，精度：0.01mm，實現(xiàn)移液及焦距對焦功能

2.5. 進樣模式：程序設(shè)置進樣區(qū)域，多點自動按序拍攝，統(tǒng)一分析，自動計算，一鍵得出結(jié)果

3. 成像系統(tǒng)及其控制：

3.1. 鏡頭控制：一維俯仰控制

3.2. 鏡頭：0.7～4.5×光學(xué)連續(xù)變倍，250mm工作距離，55～320pixel/mm有效像素

3.3. 相機系統(tǒng)：工業(yè)級超低照度攝像頭，水平750線，0.0005Lux照度

3.4. 相機通訊：進口芯片系列CMOS傳感器，25幀/秒的速度，1280H×1024V分辨率

3.5. 背景光：可調(diào)亮度LED冷光源，36個光源點，進口亞克力遮光片技術(shù)

晶圓專用接觸角測量儀軟件特點：

1.   接觸角分析方法：量高法、量角法、擬合法、插板法、懸滴法、自動法等共6種分析方法；

2.   接觸角數(shù)據(jù)求取方式：全自動測值和人工修整相結(jié)合，按測試→自動拍照→查找敏感點→計算接觸角值→顯示計算結(jié)果，整個過程無須人工干預(yù)，以降低人為因素影響；

3.   接觸角量測技術(shù)：數(shù)學(xué)模型擬合與真實液滴輪廓實際量測相結(jié)合，解決非對稱圖像測值問題

4.   測試液滴狀態(tài)：懸滴法、停滴法(2/3態(tài))、氣泡虜獲法、插板法等共4種；

5.   曲面修正：上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正；

6.   動/靜態(tài)接觸角測試，可測試前進角/后退角/傾斜角和滾動角等；

7.   拍攝圖像方法：單張或25幀/秒連續(xù)拍攝；

8.   左右接觸角可分別計算與比較，軟件自動求取平均接觸角值；

9.   強大的數(shù)據(jù)庫管理功能：備份、壓縮、導(dǎo)出Excel表格，測值及曲線擬合結(jié)果均可保存至導(dǎo)出的圖片上，直觀明了；

10.  視頻拍攝功能：拍攝AVI格式的影視圖像，可用于PPT文件制作等；

11.  多種表面自由能估算模型，不但能分析低能固體表面，也能分析高能固體表面。

晶圓專用接觸角測量儀售后服務(wù)：

1. 免費保修2年，終身維修。2年后如需更換零配件只核收成本費，無其它費用產(chǎn)生；

2. 開通電話服務(wù)專線：，24小時內(nèi)回復(fù)用戶，72小時內(nèi)上門調(diào)試維修；

3. 定期上門巡回服務(wù)，檢查設(shè)備運行狀況，對設(shè)備進行維護和保養(yǎng)；

4. 長期為用戶免費提供產(chǎn)品使用說明書、維護咨詢、技術(shù)咨詢等服務(wù)；

5. 針對使用電腦軟件控制的儀器，可定期免費提供軟件升級和技術(shù)支持。

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