X-20B超低振動超精細(xì)閉循環(huán)低溫恒溫器主要用于UHV環(huán)境。ARS生產(chǎn)的X-20B恒溫器是真正的UHV系統(tǒng),真空度可達(dá)10-11 Torr,該產(chǎn)品全部用焊接接頭及金屬密封替換橡膠O圈密封,并在制冷機(jī)上直接焊接CF法蘭。
X-20B系列恒溫器的冷頭可以直接從該系統(tǒng)上移除且不會破壞系統(tǒng)真空度,所以X-20B系統(tǒng)的另一個優(yōu)勢就是可以輕松烘烤到200℃。
X-20B系列恒溫器使用氦氣交換冷卻樣品,系統(tǒng)振動級別僅為3-5nm,樣品處溫度可達(dá)3.5K,溫度可達(dá)800K。
應(yīng)用實例
• 低振動UHV應(yīng)用
• 顯微實驗
• 表面物理
• 納米材料
典型特點
• 3-5 nm超低振動
• 10-11 Torr真正的超高真空環(huán)境
• 移除冷頭可烘烤至200℃
• 開放的樣品空間
• 冷頭朝下放置
• 可根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制
DE202*F-DMX-20振動譜 |
標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)
• DE-202/DE-204/DE-210冷頭
• ARS-2HW壓縮機(jī)
• 2 根柔性氦氣傳輸管道
• DMX-20超低振動接口
• 6英寸可旋轉(zhuǎn)CF法蘭
• 鎳鍍金無氧銅防熱輻射屏
• 供溫度測試和控制的儀表群
• 10 針UHV電學(xué)接頭
• 50 歐姆片狀加熱器
• 為控溫而備的精度為± 0.5 K的硅二極管溫度計
• 精度為±12 mK的校準(zhǔn)型硅二極管溫度計(帶4英尺線纜供樣品的精確測試)
• 電學(xué)測試實驗接線
• 10 針電學(xué)接頭
• 4 根測試線
• 光電實驗用樣品座
• 溫控儀
可選配置及升級選項
• 用于非標(biāo)結(jié)構(gòu)的4.5英寸法蘭
• 可選8英寸法蘭
• 4 K 冷頭
• 6 K 冷頭
• 450 K高溫臺
• 800 K 高溫臺
• 可定制溫度計結(jié)構(gòu)
• 可定制接線結(jié)構(gòu)
• 可定制樣品座
技術(shù)參數(shù)
冷卻技術(shù)--閉循環(huán)制冷機(jī) |
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制冷方式 | 氣動GM制冷 | |
液體冷凍劑 | 無需制冷劑 | |
樣品區(qū)溫度范圍:< 10K - 350K (溫可選7K,3.5K;高溫可選450K,800K) | ||
溫度穩(wěn)定性 | ±50mK | |
樣品空間 | ||
直徑 | 大,開放式防熱輻射屏 | |
高度 | 大,開放式防熱輻射屏 | |
樣品架 | ||
樣品腔接口 | ||
法蘭 | CF, ISO | |
尺寸 | 4.5英寸、6英寸、8英寸和10英寸(4.5英寸法蘭非標(biāo)準(zhǔn)可能不適用于所有腔室) |
應(yīng)用示例
DMX-20應(yīng)用于穆斯堡爾譜 | |
關(guān)閉冷頭 計算參數(shù): 寬度=0.269 mm/s w13=1.17 W23=1.08 ISO=0.000毫米/秒 bhf=32.94噸 校準(zhǔn)光譜: 金屬箔測量(厚度25 mm) | 開啟冷頭 計算參數(shù): 寬度=0.270 mm/s w13=1.21 W23=1.11 ISO=+0.115毫米/秒 bhf=33.81噸 校準(zhǔn)光譜: 金屬箔測量(厚度25 mm) |
當(dāng)系統(tǒng)正確安裝在墻壁和工作臺上并進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整后,壓縮機(jī)工作時產(chǎn)生的振動影響非常?。◣缀蹩梢院雎圆挥嫞?。 加寬(不是擴(kuò)大?。┛蓮?fù)制,遠(yuǎn)低于2%。這種加寬實際上沒有任何影響,幾乎在所有情況下都可以忽略。但是,比較林寬度的時候需要用同樣計算方式! Displex系統(tǒng)實際上是無振動的! Prof. Dr. habil. Michal Kopcewicz,電子材料技術(shù)研究所 波蘭華沙 | 穆斯堡爾譜低溫恒溫器, DMX-20 Prof. Dr. habil. Michal Kopcewicz |
穆斯堡爾譜配置 | |
為了限度地隔離振動,系統(tǒng)的正確安裝是非常重要的。ARS提供了一個特殊的超低振動支架用于隔離超低振動恒溫器來自冷頭和地板的振動。 該支架可以通過調(diào)節(jié)到恰當(dāng)?shù)母叨葋碇卫漕^。 低溫恒溫器安裝在低振動平臺上。它由一個高質(zhì)量的花崗巖塊(用戶提供)組成,由4氣腿支撐(可選ARS產(chǎn)品)。額外的彈性隔震器過濾掉從地板到低溫恒溫器的振動。 系統(tǒng)可通過關(guān)閉制冷機(jī)來觀察振動對實驗的影響來進(jìn)行測試。 | |
橢圓偏振計 | |
應(yīng)用于SOPRA橢圓偏振計的超低振動系統(tǒng) | |
SEM 設(shè)備 |
上圖展示了Displex和它的界面。照片中所有不銹鋼的部分都是對我們的JSM-5910掃描電鏡的升級。請注意我的網(wǎng)站上發(fā)表的論文,其中演示了用這個低溫系統(tǒng)獲得的CL的結(jié)果。 樣品溫度介于40 K和50 K之間。 Prof. Dan Rich 以色列比爾舍瓦本古里安大學(xué) | 上圖為生長在帶圖案的GaN襯底上的InGaN/GaN量子阱. 該圖案由周期為10微米的條紋組成。 采用390 nm檢測波長拍攝的單色CL圖像(Mag. 2000)。 室溫和50K的圖像質(zhì)量對比表明振動小于10nm。 |
FTIR 測試 | |
超低振動系統(tǒng)用于FTIR分光儀,帶有3個樣品的樣品座可在Z軸方向進(jìn)行移動。 | 超低振動系統(tǒng)用于BOMEM, DA8 FTIR分光儀。 |
電磁測試 | |
該款低溫恒溫器尾部真空罩緊湊,可使樣品插入到小型磁體孔進(jìn)行測試。 | 該款低溫恒溫器尾部真空罩緊湊,可使樣品插入到小型磁體孔進(jìn)行測試。 |
磁光測試 (MOKE) | |
超低振動低溫恒溫器用于MOKE(磁光克爾效應(yīng))。 樣品可以根據(jù)情況放置在任意平面。極距可低至1英寸。 |
小直徑真空外殼可以插入狹窄的間隙(高場)。 光學(xué)窗口允許從樣品中收集光。 對于短焦距物鏡,窗口可以無限接近樣品 |
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