使用一臺設(shè)備應(yīng)對多種氣體相當于實現(xiàn)了工藝靈活性和生產(chǎn)大化。采用布魯克斯儀器 MultiFlo™ 技術(shù)的 GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器非常適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測量和控制準確性的同時重新設(shè)定測量范圍的系統(tǒng)、工藝和設(shè)施。該產(chǎn)品與的流量測量和控制性能相結(jié)合，能夠?qū)⒐に囲`活性提升至新高度。

特點

* 可編程多氣體/多量程功能

* Brooks® MultiFlo™ 氣體數(shù)據(jù)庫包含數(shù)千種天然氣體測定結(jié)果，可用于建立修正函數(shù)

* 流量響應(yīng)時間不足 1 秒，精度可達目標應(yīng)用設(shè)定值的 1%

* 非常適用于各種氣體

* 快速響應(yīng)，哈氏合金傳感器

* 擁有獨立于工具通信并可輕松接入的診斷服務(wù)端口

* 多協(xié)議通信選件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模擬接口

優(yōu)勢

* MultiFlo™ 技術(shù)能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設(shè)定新氣體和滿量程，從而限度延長運行時間

* MultiFlo™ 編程功能簡單、易用；60 s 內(nèi)即可完成新氣體的選擇操作

* 可大幅降低設(shè)備商和大型終端用戶的流量控制器庫存

* 得益于基于國際標準的高級計量系統(tǒng)和校準技術(shù)，產(chǎn)品擁有出色的工藝氣體測量精度

* 耐腐蝕傳感器擁有的長期穩(wěn)定性，可確保良率和產(chǎn)能

* 對用戶開放的服務(wù)端口簡化了故障排除和診斷操作

* 各種橡膠密封件為各種應(yīng)用提供了經(jīng)濟實惠的性能靈活性

* 多協(xié)議通信接口可集成至現(xiàn)有系統(tǒng)

應(yīng)用

* 太陽能電池化學(xué)氣相沉積

* 生命科學(xué)實驗室

* 真空處理

* 納米技術(shù)/MEMS 制造

* 等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統(tǒng)