Smartproof 5快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡以共聚焦光學(xué)為基本原理，采用的高速轉(zhuǎn)盤掃描技術(shù)為成像方法，將高分辨率與速度結(jié)合在一起，是一款能夠快速提供工業(yè)零部件表面三維輪廓，并可實現(xiàn)非接觸式表面粗糙度測量的精密分析儀器。

Smartproof 5擁有業(yè)內(nèi)佳的高分辨率和高速度共聚焦系統(tǒng)，利的轉(zhuǎn)盤共聚焦技術(shù)有效地減少獲取分析結(jié)果的時間。集成和穩(wěn)固設(shè)計確保無附加防振設(shè)備下能夠在不同環(huán)境中安裝并使用，的操作者模式適合工業(yè)生產(chǎn)的批量檢測任務(wù)，能夠大地提高檢測效率。蔡司以她的光學(xué)技術(shù)和基于用戶的設(shè)計理念，再次向證明了光學(xué)導(dǎo)品牌的地位。

產(chǎn)品特點(diǎn)

l高分辨

由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5將傳統(tǒng)光學(xué)分辨率提高1.4倍，其XY方向線分辨率達(dá)到120 nm。

l高測量精度

同時，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎(chǔ)上，Smartproof 5配備了精度高、重復(fù)性好的Z軸自動步進(jìn)裝置，小步進(jìn)精度達(dá)到1nm，這使得高度上亞微米，甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。

l高速掃描

傳統(tǒng)共聚焦采用點(diǎn)掃描成像，速度較慢；而Smartproof 5采用轉(zhuǎn)盤掃描，成像速度大大提高，快的高精度模式掃描速度超過50幅/（2048*2048分辨率），可以說瞬間即可得到測量結(jié)果，大大提高工作效率。

l真實色彩還原

還可使用三色LED光源，能夠展現(xiàn)被測試樣表面的真實顏色，從而將傳統(tǒng)黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應(yīng)用域。

技術(shù)參數(shù)：

1. 波長：405nm

2. 分辨率：120nm

3. Z軸小步進(jìn)精度：1nm

4. 成像速度：常規(guī)共聚焦的2-3倍

5. 物鏡：2.5x-100x 

6. 高度掃描范圍：高達(dá)5mm

7. 載物臺：150mm×150mm超大行程

8. 控制系統(tǒng)：Smartproof 5應(yīng)用軟件

9. 圖像處理和數(shù)據(jù)測量：

2D：距離，高度，角度，構(gòu)造元素，基于ISO 4287的輪廓粗糙度

3D：水平距離，3D距離，高度，角度，構(gòu)造點(diǎn)，面積，體積，基于ISO 25178的面粗糙度

其他：水平調(diào)整，形狀去除，濾波，去噪，報告

應(yīng)用

1. 汽車制造：研究活塞的摩擦磨損、特殊要求的部件表面粗糙度測量、焊接組件及接縫處的角度測量

2. 航空航天工業(yè)：評價橡膠密封圈的磨損、特殊要求表面 的粗糙度分析

3. 科研：植入器官的表面測量

4. 微光學(xué)/機(jī)械制造：敏感精密光學(xué)部件的表面測量、精密機(jī)械部件的精密幾何測量

5. 電子：導(dǎo)線的幾何量測量（寬度，厚度等）、焊接結(jié)點(diǎn)的質(zhì)量過程控制

6. 造紙：紙張以及印刷品的表面測量

應(yīng)用圖例：

激光刻蝕表面，帶表面紋理圖層的3D 彩色編碼高度圖

衍射光學(xué)器件，彩色編碼高度圖

研磨鋁表面,帶表面紋理圖層的3D顯示圖

臺階高度標(biāo)樣測試（標(biāo)準(zhǔn)高度1.777±0.011mm，NIST認(rèn)證），實測臺階高度1.772mm。

上圖：三維偽彩圖；下圖：二維輪廓線圖。

粗糙度標(biāo)樣測試結(jié)果。標(biāo)準(zhǔn)粗糙度Ra = 2.97mm，實測Ra=2.962mm。

20x物鏡，4x1三維拼接，cut-off值取1/5取樣長度。

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