PFA花籃 / 清洗花藍 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍晶圓盒 為 為承載半導體晶圓片/硅片的容器，可依照客戶需求設(shè)計，全氟烷氧基材質(zhì)有優(yōu)良的化學穩(wěn)定性，耐高溫-200~220℃、耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。

進入化學酸、堿蝕刻制程中，鐵氟龍卡匣需要靠手把夾持，可搭配鐵氟龍手把使用。

生產(chǎn)供應(yīng)PFA清洗花籃,清洗片架,尺寸2寸,3寸,4寸,6寸,8寸,12寸.PFA材質(zhì)清洗花籃,適用于硅片,石英,藍寶石,砷化鎵等晶片清洗.

產(chǎn)品特點：

1、外觀透明可視；

2、耐高溫，使用溫度在-200~+260℃；

3、化學耐受性強，可耐受大部分的化學溶劑，如強酸、強堿、HF等；

4、低溶出和析出，金屬元素空白值低，不污染清洗液、晶圓硅片等；

5、采用進口高純原料，表面光滑無毛刺，不附著易清洗。

用途：用于半導體硅片、晶片、玻璃、液晶屏等清洗、腐蝕設(shè)備的承載花籃，太陽能電池片花藍、太陽能硅片花藍、太陽能硅片承載器、光伏電池片花藍、光伏硅片花藍，用于太陽能電池硅片清洗設(shè)備中，用于承載方形太陽能電池硅片。