產(chǎn)品特點
v 雙等離子清洗源
v 一機多用
v 高效低損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40 |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源,射頻功率5-100W可調(diào),自動匹配器 |
氣體控制 | 標配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器(MFC),精確測量自動控制氣體流量,不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求可選擇氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面 |
電源/功率 | 220V,50/60Hz,300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保,終身維護 |