產(chǎn)品介紹
設(shè)備名稱: 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
型號: S4800
廠家:日本Hitachi
主要用途:
該設(shè)備主要用于各種樣品的高分辨表面形貌成像觀察,點(diǎn)分辨率可達(dá)1 nm。同時該設(shè)備由于發(fā)射束流低并配備了減速裝置,因此可以較大程度上減少樣品在電子束轟擊下的充電效應(yīng),適合于一些不導(dǎo)電樣品和在電子束輻照下異損壞樣品(有機(jī)、高分子、生物樣品等)的表面高分辨成像。
主要配置:
電子束減速裝置
性能指標(biāo):
1、二次電子圖像分辨率
≤1.0nm保證(加速電壓15kV WD = 4mm)
≤2.0nm 保證(加速電壓1kV WD = 1.5mm,普通模式)
≤1.4nm 保證(照射電壓1kV,WD = 1.5mm,使用減速裝置)
放大倍率:20~800,000×
2、樣品臺
S-4800型
X 0-50 mm
Y 0-50 mm
Z 1.5-30 mm
T -5°~ + 70°
R 360°
樣品尺寸(直徑) 100mm
樣品臺控制 五軸馬達(dá)驅(qū)動