性能參數(shù)
3100質(zhì)量流量計(jì) | |
量程(N2) | 1SCCM-20SLPM、最小0.02-1SCCM |
精度 | ±1.0%FS |
重復(fù)性 | ±0.2%FS |
響應(yīng)時(shí)間 | 1秒以內(nèi) |
耐壓 | 1.0Mpa |
進(jìn)口壓力 | O.5Mpa |
泄漏率 | 1*10-8pa·m3/s以下 |
溫度范圍 | 5-45℃ |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) |
材質(zhì) | 本體SUS316L |
密封圈NBR、PTFE、FKM等 | |
電氣接口 | DB9 |
模擬信號(hào) | 0-5V輸出 |
供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
管路連接 | 標(biāo)配1/4F9 |
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
重量 | 約800g |
電氣連接
針腳/顏色 | 定義 |
1針腳/棕色 | 空 |
2針腳/白色 | 0-5V輸出 |
3針腳/紅色 | +15VDC |
4針腳/黑色 | 電源COM |
5針腳/黃色 | -15VDC |
6針腳/灰色 | 空 |
7針腳/綠色 | 輸出COM |
8針腳/蘭色 | 空 |
9針腳/紫色 | 空 |
使用注意
一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。
二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口壓力5公斤。
五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。
