法國(guó)Black Hole Lab一站式微流控SU8模具臺(tái)式工作站 SU-8模具加工站是一個(gè)交鑰匙的產(chǎn)品,wu需購買任何其他設(shè)備?;旧蟽H需要一個(gè)化學(xué)通風(fēng)廚和少量的工作空間。我們也可以根據(jù)您實(shí)驗(yàn)室內(nèi)現(xiàn)有的設(shè)備來調(diào)整報(bào)價(jià)。
SU-8光刻臺(tái)式工作站涵蓋您在實(shí)驗(yàn)室加工微流體模具所需要的一切組件,即使沒有超凈間,憑借該工作站,您也可以加工出來具有與超凈間相同的分辨率的模具。SU-8模具工作站可以縮短芯片加工的總時(shí)間。
優(yōu)勢(shì)&特點(diǎn):
(1)為易用性設(shè)計(jì),達(dá)到與超凈室相同的圖案分辨率
(2)易于通過面板或PC進(jìn)行操作編程
(3)能夠設(shè)置多種加速度和速度的復(fù)雜序列
(4)wu堵塞,延長(zhǎng)使用壽命
(5)低振動(dòng),轉(zhuǎn)速高達(dá)12000 rpm
(6)提供晶圓對(duì)中工具
(7)即使沒有微流控加工的初步知識(shí),也可以熟練的加工模具
(1)可編程旋涂機(jī)
包括化學(xué)藥品(SU-8,SU-8顯影液、Omnicoat、異丙醇、丙酮等)和實(shí)驗(yàn)室配件(微量移液槍、計(jì)時(shí)器、玻璃器皿、封口膜、鑷子、金剛石刮板、硅片、玻璃載玻片、一次性杯子、攪拌棒、等),以便為您提供完整的套件。
可編程旋涂機(jī):適用于軟光刻應(yīng)用的設(shè)備
該旋涂機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,并且具有可編程功能。
它適用于直徑?150 mm的晶圓和5” × 5”(127 mm × 127 mm)的基板。
此旋涂機(jī)經(jīng)過微調(diào),可加工可控和可重復(fù)的SU-8光致抗蝕劑層。
其緊湊的尺寸和附加的小控制面板使該設(shè)備實(shí)現(xiàn)真正的移動(dòng)。該旋涂機(jī)已廣泛應(yīng)用于SU-8光刻膠涂層。蓋子上的孔可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)SU-8涂覆。通過藍(lán)牙輕松連接到您的PC,您可以保存并命名您的實(shí)驗(yàn)配方。
主要優(yōu)勢(shì):
(1)為易用性設(shè)計(jì)
(2)易于通過操作面板或PC進(jìn)行編程
(3)能夠設(shè)置多種加速度和速度的復(fù)雜序列
(4)wu堵塞,延長(zhǎng)使用壽命
(5)低振動(dòng)
(6)轉(zhuǎn)速高達(dá)12000 rpm
(7)提供晶圓對(duì)中工具
可編程數(shù)碼電熱板:適用于軟光刻應(yīng)用的設(shè)備
確保準(zhǔn)確、均勻且穩(wěn)定的溫度設(shè)定點(diǎn)。該數(shù)字式熱板設(shè)備可設(shè)置溫度斜坡以進(jìn)行加熱和冷卻。通過可編程控件使您的生活更加輕松,這些控件可以實(shí)現(xiàn)光刻過程的自動(dòng)化。
可編程熱板的頂板和很大的加熱表面積使它具有足夠?qū)挼膮^(qū)域,溫度均勻,可以在4英寸的晶片上有效地烘烤SU-8光刻膠。溫度斜坡使得能夠減小光致抗蝕劑層內(nèi)部的機(jī)械應(yīng)力??删幊坦ぞ呖蛇M(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的光刻膠烘烤,而wu需停留在設(shè)備的面。
主要優(yōu)勢(shì):
(1)加熱和冷卻的溫度斜坡曲線
(2)4英寸晶圓的高溫均勻性
(3)微處理器顯示屏保持溫度恒定
(4)小溫度超調(diào)
(5)自動(dòng)計(jì)時(shí)器
(6)光滑的鋁板,易于清潔光刻膠
可編程UV燈系統(tǒng):適用于軟光刻應(yīng)用的設(shè)備
du特的UV LED曝光和遮罩系統(tǒng)(可選),具有365 nm或者385 nm波長(zhǎng)的可用光源。這是一種非常緊湊的臺(tái)式系統(tǒng),能夠?qū)χ睆酱鬄?英寸的晶圓表面積進(jìn)行曝光。該自動(dòng)UV曝光系統(tǒng)與硬(物理)或軟(接近)掩膜觸點(diǎn)兼容,并具有可變的掩膜到基板距離的控制功能。
該UV曝光系統(tǒng)具有2μm的分辨率,特別適合軟光刻應(yīng)用。閃光曝光可以減少光刻膠的內(nèi)部機(jī)械應(yīng)力。其體積小巧,可將其安裝在所需的任何位置,尤其是在潔凈室之外。
主要優(yōu)勢(shì):
(1)晶圓表面上方的wan美單色曝光(帶寬低于10 nm)
(2)冷紫外線
(3)光線發(fā)散角<2°
(4)強(qiáng)大的功率密度
(5)LED使用壽命長(zhǎng):超過1萬小時(shí),相當(dāng)于8-10年的使用時(shí)間
(6)用戶友好的觸摸屏界面,可進(jìn)行曝光周期編程
(7)wu需預(yù)熱時(shí)間
(8)直觀的UV光源強(qiáng)度控制
(9)自動(dòng)化晶圓加載和卸載系統(tǒng)
(10)可與玻璃和塑料光罩一起使用
(11)在4英寸晶圓上具有很高的紫外線均勻度
(12)集成紫外線儀表
更多內(nèi)容:
自動(dòng)匹配您實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有設(shè)備的報(bào)價(jià)!
由于每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都是不同的,因此,每個(gè)研究都是du特的,所以我們會(huì)根據(jù)實(shí)際需求盡可能地調(diào)整報(bào)價(jià)。我們與您一起討論什么是效率高的設(shè)備,從而增加或刪除設(shè)備、配件、化學(xué)品等等。