該鍍膜機(jī)為前開門箱式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備,該鍍膜機(jī)功能強(qiáng)、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡便。適用于制備導(dǎo)電薄膜,半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,高性能薄膜研究及新材料科學(xué)研究工作。
鍍膜機(jī)的真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造,工藝規(guī)范、精致,具有高真空度、高清潔度,可以保證材料的成膜純度。
采用大抽速的變頻控制分子泵+直聯(lián)機(jī)械泵機(jī)組,具有抽速快、無油、操作方便快捷、易于維護(hù)的特點(diǎn)。配備270°E型電子束蒸發(fā)源,電源穩(wěn)定,控制精度高,帶有高壓自動滅弧復(fù)位裝置,操做簡便,性能可靠。
適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師科學(xué)研究。
◆ 鍍膜室體積:500mmX500mmX600mm;
◆ 極限真空度:6.7X10-5 Pa,恢復(fù)真空:從大氣抽至6.7X0-4 Pa (40分鐘);
◆ 真空抽氣系統(tǒng):機(jī)械泵與分子泵組成;
◆ 真空測量系統(tǒng):數(shù)顯復(fù)合真空計;
◆ 蒸發(fā)源:電子束蒸發(fā)源:E型電子槍,功率0~6KW可調(diào);電阻蒸發(fā)源:功率3kW/10V兩組;
◆ 工件烘烤溫度:室溫~350℃可控可調(diào)(PID控溫);
◆ 選配件:光學(xué)膜厚測量儀、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機(jī)組等;
◆ 供電電源:三相AC380V,50Hz。
◆ 特殊規(guī)格可定制。