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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

材料物理&材料制備系列DH-500JJC型 多靶磁控濺射鍍膜機(jī)

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  • 公司名稱(chēng)武漢鑫卓雅科技發(fā)展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/7/22 17:59:04
  • 訪問(wèn)次數(shù)202
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武漢鑫卓雅科技發(fā)展有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事電子測(cè)試測(cè)量?jī)x器及工具,大學(xué)物理、電工電子電氣、機(jī)械工程、汽車(chē)電子技術(shù)教學(xué)科研實(shí)驗(yàn)室,大恒光學(xué),電子產(chǎn)品快速成型一體化,通信工程與電子信息專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)教學(xué),物聯(lián)網(wǎng)工程教學(xué)實(shí)訓(xùn)與科研,分布式能源系統(tǒng)工程集成及運(yùn)行服務(wù)、系列新能源模擬試驗(yàn)平臺(tái)開(kāi)發(fā)實(shí)驗(yàn)室,軌道交通運(yùn)營(yíng)通信信號(hào)實(shí)驗(yàn)教學(xué)整體解決方案系統(tǒng)集成供應(yīng)商;TI(DSP)、Xilinx(FPGA)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室第三方。 公司位于湖北省武漢市的洪山區(qū),是湖北有名的教育區(qū),公司現(xiàn)有員工10位,所有員工的學(xué)歷都是大學(xué)本科以上,其中碩士2名。員工都來(lái)自湖北有名的高校如武漢大學(xué)、華中科技大學(xué)、武漢理工大學(xué)等。公司具有較強(qiáng)的研發(fā)能力,可根據(jù)用戶(hù)的要求設(shè)計(jì)及制造各種相關(guān)的儀器設(shè)備。公司還專(zhuān)門(mén)設(shè)立了自己的“售前、售中、售后”的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。
該鍍膜機(jī)主要用于科研實(shí)驗(yàn),可制備納米級(jí)和微米級(jí)的單層及多層功能膜-各種硬質(zhì)膜、光學(xué)膜、金屬膜、鐵磁薄膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜和氧化物薄膜等多種薄膜
材料物理&材料制備系列DH-500JJC型 多靶磁控濺射鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

該鍍膜機(jī)主要用于科研實(shí)驗(yàn),可制備納米級(jí)和微米級(jí)的單層及多層功能膜-各種硬質(zhì)膜、光學(xué)膜、金屬膜、鐵磁薄膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜和氧化物薄膜等多種薄膜。

  該鍍膜機(jī)為前開(kāi)門(mén)式設(shè)計(jì),功能強(qiáng)、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便。真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造,工藝規(guī)范、精致,保證了材料的成膜純度。

    采用分子泵+直聯(lián)機(jī)械泵機(jī)組,具有抽速快、無(wú)油、操作方便快捷、易于維護(hù)的特點(diǎn)。

◆ 鍍膜方式:可實(shí)現(xiàn)多靶共濺模式;

◆ 磁控靶:圓柱/平面靶;

◆ 進(jìn)氣系統(tǒng):三路質(zhì)量流量計(jì);

◆ 鍍膜室體積:500mmX500mmX600mm;

◆ 極限真空度:5X10-5 Pa,恢復(fù)真空:從大氣抽至6.7X10-4 Pa 40分鐘);

◆ 真空抽氣系統(tǒng):機(jī)械泵與分子泵組成;

◆ 真空測(cè)量系統(tǒng):數(shù)顯復(fù)合真空計(jì);

◆ 工作電源:直流電源500W;射頻電源500W13.56MHz);加熱控溫電源;

◆ 工件烘烤溫度:室溫~800℃可控可調(diào)(PID控溫);

◆ 選配件:石英晶振測(cè)厚儀、冷卻水機(jī)組等;

◆ 供電電源:三相AC380V,50Hz

◆特殊規(guī)格可定制。

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