國家標(biāo)準(zhǔn)《GB/T 16945-2009 電子工業(yè)用氣體 氬》中對于氬氣露點水分含量要求如下：
1、當(dāng)氬氣（Ar）純度（體積分?jǐn)?shù)）≥99.9999%時，水分（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）應(yīng)＜0.2ppm；
2、當(dāng)氬氣（Ar）純度（體積分?jǐn)?shù)）≥99.9992%時，水分（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）應(yīng)＜0.5ppm；
3、液態(tài)氬的水分應(yīng)氣化后測定。
以贏潤集團研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-PG7190便攜式氣體水分露點分析儀和ERUN-PG919T氣體微量水分露點在線分析儀為例，都是采用核心元器件，能夠快速準(zhǔn)確地檢測出氬氣中的微量水分露點值，支持顯示露點溫度Td、溫度T、相對濕度RH、水分體積濃度ppm、水分質(zhì)量濃度g/m3等。
工業(yè)級氬氣露點微量水分檢測儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號：ERUN-PG919T（在線式）、ERUN-PG7190（便攜式）
露點范圍： -80℃～+20℃（可選量程：-100～+20℃）
溫度范圍： -40℃～+100℃
濕度范圍：0~99%RH
精度誤差：±2℃Td、±0.1℃、±0.8RH%
顯示項目：Td、T、RH、ppm、g/m3
數(shù)據(jù)傳輸：4-20 mA、0-1V、0-5V、0-10V（在線式）、USB（便攜式）
以上就是關(guān)于氬氣含水量露點測定儀的相關(guān)介紹，目前市面上對于氬氣露點水分的測定方法主要有阻容法、冷鏡法、振動頻率法、電解法、重量法、半導(dǎo)體原理、紅外原理和鏡面原理，可以使用氬氣微量水分析儀來檢測分析氬氣中的微量水分露點值。
