型號:ASR-VMS-6050
工作臺 X/Y軸行程 600MM*500MM
Z軸行程 有效空間235mm,調(diào)焦行程250mm,工作距離105mm
大理石臺面尺寸 650MM*550MM
玻璃臺面尺寸 450MM*350MM
傳動型式 傳動型:X/Y/Z軸中國臺灣進(jìn)口精密線性導(dǎo)軌和中國臺灣進(jìn)口滾珠螺桿
測量伺服驅(qū)動系統(tǒng) 光學(xué)尺分辨率:X/Y/Z軸0.0002MM(0.2UM)
測量精度:≤2.5UM+L/250 重復(fù)精度:≤2.5UM+L/250
機(jī)房散熱量計(jì)算:
保持機(jī)房內(nèi)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)操作于溫度、濕度空間,必須計(jì)算計(jì)算機(jī)房內(nèi)總散熱量,其中包括機(jī)房內(nèi)機(jī)器散熱量總和(燈光普通照明燈可忽略不計(jì))
·人員散熱量:每人平均600BTY/小時
· 未來擴(kuò)充的設(shè)備(略)
·機(jī)房空間散熱量:50BTY/平方英尺
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