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產(chǎn)品簡介:
單靶等離子濺射儀是一種已經(jīng)通過CE認證的緊湊型等離子濺射儀。用于金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜。樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300埃。特別適用于SEM樣品的鍍膜。本品包括真空泵和預置一個金靶。
主要特點:
單靶等離子濺射儀主要特點如下:
1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài);2. 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時結合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體3. 特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象;4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用;5. 根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量樣品濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
技術參數(shù):
單靶等離子濺射儀主要技術參數(shù):
1、輸入電源:220V,總功率小于2000W(包括真空泵);
2、樣品室尺寸:直徑160mm,高度120mm;
3、樣品臺:直徑50mm,可以同時給8個SEM樣品鍍膜,樣品臺高度可調(diào)。均勻鍍膜區(qū)域為直徑45mm;
4、氣氛控制:針閥控制氣體流量,已取得更好的鍍層效果;
5、外形尺寸:長400mmx寬300mmx高400mm;
6、凈重:約30公斤;
7、保質(zhì)期和證書:1年保質(zhì)期及CE認證證書。
產(chǎn)品規(guī)格:
標準配件:
可選配件:
金、銦、銀、鉑等各種靶材
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