探針式輪廓儀/臺(tái)階儀/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的臺(tái)階高度測量與三維形貌測量。D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和薄膜應(yīng)力的測量。 D-600配置200毫米自動(dòng)移動(dòng)樣品臺(tái)與*的Keystone矯正的輔助光學(xué)系統(tǒng)
產(chǎn)品描述
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的二維與三維測量，以及翹曲度和薄膜應(yīng)力的測量。創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大范圍測量與超微力測量于一體的功能。
探針測量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的探針壓力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
主要功能
臺(tái)階高度：幾納米至1200μm
低觸力：至15mg
視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
緊湊尺寸：占地面積小
軟件：用戶友好的軟件界面
主要應(yīng)用
臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度
紋理：2D粗糙度和波紋度
形式：2D翹曲和形狀
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
工業(yè)應(yīng)用
大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
SIMS：二次離子質(zhì)譜
LED：發(fā)光二極管
太陽能
MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設(shè)備
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