產(chǎn)品介紹

ESPI電子散斑干涉儀，用來解決漫反射表面的形變測量問題。PhaseCam ESPI動態(tài)電子散斑干涉儀，可以解決在現(xiàn)場環(huán)境下的表面沿軸向的一維形變測量問題，精度達到nm級，而不用考慮環(huán)境振動帶來的影響。 應用于大口徑拼接鏡的背部支撐材料的微變形測量。經(jīng)典應用案例：美國JWST太空望遠鏡的主鏡的背部碳纖維支撐結(jié)構(gòu)的微變形測量。

PhaseCam ESPI是在P6110的基礎上開發(fā)的，采用532nm高能激光光源，對樣品表面照射，表面的漫反射光進入干涉儀發(fā)生干涉，干涉圖樣為含有干涉信息的電子散斑噪聲。對兩次漫反射干涉的散斑進行波面相減操作，便可提取出樣品面形變化引起的相位信息。對該相位信息解析，就可以獲得形變量。由于采用了動態(tài)相移技術(shù)，即使在非隔振的環(huán)境下測量，也可以實現(xiàn)nm級測量精度。

常規(guī)屬性

系統(tǒng)描述：對振動不敏感的泰曼格林型動態(tài)相移干涉儀

采集模式：采用相位相關(guān)探測器的瞬時相移式

激光器：532nm CW激光，18W

ESPI照明：雙通道獨立照明，光纖耦合

相干長度 gt;35m

光束直徑：7 mm

相機像素：2000×2000 pixels

可測樣品材料：碳纖維、殷鋼、鋁等漫反射表面

系統(tǒng)性能

RMS重復性：
RMS精度：
測試距離：可測2m-5m

測試覆蓋范圍：Φ

配置選項

球面擴束鏡頭：F/1 to F/32；