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微型PECVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱沈陽科晶自動化設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地沈陽市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/30 21:21:13
  • 訪問次數136
產品標簽:

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沈陽科晶自動化設備有限公司是由畢業(yè)于美國麻省理工學院的江曉平博士于2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設備潮流為目標的發(fā)展歷程。時至今日,已經擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結、分析等領域以及相關耗材的上百種產品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復合材料、生物材料等制備分析的全套需要?! ∩蜿柨凭Я⒆銍鴥仁袌鰧嶋H情況,以提供實用的產品為己任。產品的質量、精度在向國外企業(yè)看齊的基礎上,產品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價比不僅吸引了眾多國內客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國?! ∩蜿柨凭б恢敝铝τ诟叩仍盒!⒀芯克?、生產企業(yè)的科研服務,即產品定位于研究市場,主要面向廣大高等院校、科研機構、實驗室以及工廠的小規(guī)模生產。多年以來,已與全國眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務關系。其中北京大學、清華大學、浙江大學、哈爾濱工業(yè)大學、東北大學等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國科學地質與地球物理研究所等科研機構,中國航天工業(yè)集團公司、中國船舶重工集團公司、攀鋼集團有限公司等企業(yè)都是長期合作的榮譽客戶?! ∩蜿柨凭榱烁玫胤湛蛻簦瑢iT設立了開放式專業(yè)實驗室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術人員。在這里,不僅可以提供親身的產品體驗環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導。開設以來,制作的樣品達上千件,接待來訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽科晶擁有優(yōu)質、高效、專業(yè)的銷售咨詢、售后服務團隊,能夠為每一位客戶提供采購建議與方案、完善的使用指導與售后服務。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽科晶每個員工不懈努力的目標?! ∩蜿柨凭б宦纷哌^的歷程,是為我國材料研究事業(yè)全力貢獻的歷程,是以實際行動將自己打造成國內材料分析設備品牌的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會成為國際市場上專業(yè)的、杰出的材料分析設備品牌,沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。
微型PECVD系統(tǒng)
微型PECVD系統(tǒng) 產品信息

產品簡介:微型PECVD系統(tǒng)采用Ø3" × 16" 的石英腔體,內部設有加熱圈對樣品進行加熱,溫度可以達到400℃,且采用程序化控溫,系統(tǒng)還配有2通道混氣裝置和雙旋機械泵,整套系統(tǒng)安放于移動架上,便于實驗操作。本系統(tǒng)系對于薄膜生長和納米線的制作是的選擇。

 

產品型號

微型PECVD系統(tǒng)

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好

3、氣:設備腔室內需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、加熱圈套有石英罩,以減小熱量損失。

2、樣品可置于加熱線圈內,以達到更好的加熱效率和溫度均勻性。

3、采用PID方式調節(jié)溫度,可設置30段升降溫程序。

4、設有一滑動法蘭安裝于移動加上,以便于樣品的放入和取出。

5、已通過CE認證。

技術參數

等離子源

1、等離子體射頻電源:110V/220V  50Hz/60Hz   <100W

2、輸出頻率:13.56MHz

3、射頻功率:7.2W、10.5W18W三檔,可調節(jié)

4、腔體尺寸:外徑Ø76.2mm×內徑Ø68.58mm×長406.4mm

5、加熱圈:電源220V,功率500W外徑Ø50mm×內徑Ø40mm×70mm,并套有內徑Ø50.8mm×Ø75mm的石英罩

6、法蘭Ø3″不銹鋼法蘭,設有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥

7、通入氣體:可通入多種惰性氣體,如N2Ar,不可通入易燃易爆性氣體

8真空度:10-2torr(機械泵)

兩通道混氣系統(tǒng)

1、浮子流量計:10ml/min-100ml/min,2

2、針閥:304不銹鋼針閥,3

3、壓力表:-0.1MPa-1.0MPa0.01MPa/grid),3

真空泵

1、抽氣速率:120L/min

2、接口:KF-25

產品規(guī)格

1尺寸:等離子源216mm×254mm×203mm,控制盒102mm×254mm×203mm,

     兩通道混氣系統(tǒng)340mm×300mm×180mm,移動架600mm×600mm×1250mm

2、重量:32kg


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