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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地沈陽市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/6/30 21:16:05
  • 訪問次數(shù)135
產(chǎn)品標簽:

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國麻省理工學院的江曉平博士于2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標的發(fā)展歷程。時至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復合材料、生物材料等制備分析的全套需要?! ∩蜿柨凭Я⒆銍鴥?nèi)市場實際情況,以提供實用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上,產(chǎn)品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價比不僅吸引了眾多國內(nèi)客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產(chǎn)品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國。  沈陽科晶一直致力于高等院校、研究所、生產(chǎn)企業(yè)的科研服務(wù),即產(chǎn)品定位于研究市場,主要面向廣大高等院校、科研機構(gòu)、實驗室以及工廠的小規(guī)模生產(chǎn)。多年以來,已與全國眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務(wù)關(guān)系。其中北京大學、清華大學、浙江大學、哈爾濱工業(yè)大學、東北大學等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國科學地質(zhì)與地球物理研究所等科研機構(gòu),中國航天工業(yè)集團公司、中國船舶重工集團公司、攀鋼集團有限公司等企業(yè)都是長期合作的榮譽客戶?! ∩蜿柨凭榱烁玫胤?wù)客戶,專門設(shè)立了開放式專業(yè)實驗室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術(shù)人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導。開設(shè)以來,制作的樣品達上千件,接待來訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽科晶擁有優(yōu)質(zhì)、高效、專業(yè)的銷售咨詢、售后服務(wù)團隊,能夠為每一位客戶提供采購建議與方案、完善的使用指導與售后服務(wù)。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽科晶每個員工不懈努力的目標?! ∩蜿柨凭б宦纷哌^的歷程,是為我國材料研究事業(yè)全力貢獻的歷程,是以實際行動將自己打造成國內(nèi)材料分析設(shè)備品牌的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會成為國際市場上專業(yè)的、杰出的材料分析設(shè)備品牌,沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡介:4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)為了使化學反應(yīng)能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應(yīng),環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學反應(yīng)沉積生成薄膜,因此這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)。

 

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

 

產(chǎn)品型號

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

安裝條件

 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

2、輝光放電等離子體中電子密度可達109cm3-1012cm3。

3、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。

4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計,可準確地控制氣體流量。

5、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

6、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分,可手動控制混合氣體的輸入。

7、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源:AC220V  4KW

2、爐管:Ø50mmØ60mm,Ø80mm都可用

3、溫度控制器:30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

4、加熱區(qū):440mm

5、恒溫區(qū):150mm

等離子射頻電源

1、輸入功率:AC220V  1KW

2、輸出功率:50W-500W可調(diào),±1%

3RF頻率:13.56MHz

4、噪聲:≤55DB

5、冷卻:風冷

真空泵和質(zhì)量流量計

1、真空度:10-3torr

2、波紋管:KF25系列

3、質(zhì)量流量計:0-200,誤差0.02%,進氣口采用國際標準雙卡頭

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:管式爐550mm×380mm×520mm,供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm

重量:120kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計

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