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廣電計量檢測集團股份有限公司

GSL-PECVD-300化學氣相沉積

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱沈陽科晶自動化設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地沈陽市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/30 20:41:12
  • 訪問次數(shù)141
產(chǎn)品標簽:

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沈陽科晶自動化設備有限公司是由畢業(yè)于美國麻省理工學院的江曉平博士于2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設備潮流為目標的發(fā)展歷程。時至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結、分析等領域以及相關耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復合材料、生物材料等制備分析的全套需要。  沈陽科晶立足國內市場實際情況,以提供實用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質量、精度在向國外企業(yè)看齊的基礎上,產(chǎn)品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價比不僅吸引了眾多國內客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產(chǎn)品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國?! ∩蜿柨凭б恢敝铝τ诟叩仍盒!⒀芯克?、生產(chǎn)企業(yè)的科研服務,即產(chǎn)品定位于研究市場,主要面向廣大高等院校、科研機構、實驗室以及工廠的小規(guī)模生產(chǎn)。多年以來,已與全國眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務關系。其中北京大學、清華大學、浙江大學、哈爾濱工業(yè)大學、東北大學等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國科學地質與地球物理研究所等科研機構,中國航天工業(yè)集團公司、中國船舶重工集團公司、攀鋼集團有限公司等企業(yè)都是長期合作的榮譽客戶。  沈陽科晶為了更好地服務客戶,專門設立了開放式專業(yè)實驗室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導。開設以來,制作的樣品達上千件,接待來訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽科晶擁有優(yōu)質、高效、專業(yè)的銷售咨詢、售后服務團隊,能夠為每一位客戶提供采購建議與方案、完善的使用指導與售后服務。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽科晶每個員工不懈努力的目標?! ∩蜿柨凭б宦纷哌^的歷程,是為我國材料研究事業(yè)全力貢獻的歷程,是以實際行動將自己打造成國內材料分析設備品牌的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會成為國際市場上專業(yè)的、杰出的材料分析設備品牌,沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。
GSL-PECVD-300化學氣相沉積
GSL-PECVD-300化學氣相沉積 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡介:GSL-PECVD-300化學氣相沉積采用等離子體增強型化學氣相沉積技術,基本溫度低,沉積速率,在光學玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質量好,針孔較少,不易龜裂,適制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件,可廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

產(chǎn)品型號

GSL-PECVD-300化學氣相沉積

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25±15,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需充注/氬氣(純度99.99%以上),需自備實驗所需氣體氣瓶(自帶Ø10mm雙卡套接頭)及減壓閥

4、場地設備尺寸2200×2000mm×1500mm,承重1000kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、所需成膜溫度低

2沉積速率快,應用廣泛

3、體積小,操作簡便

4、采用射頻為增強源易于控制

5、清理安裝便捷。

6、一體化觸摸屏控制

技術參數(shù)

1、系統(tǒng)采用單室式結構,手動前開門;
2、真空室組件及配備零部件全部采用優(yōu)質不銹鋼材料制造(304),氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸+電化學拋光鈍化處理配有可視觀察窗口,并帶擋板,真空有效尺寸為Φ300mm×300mm;
3、極限真空度:≤6.67x10-4Pa (經(jīng)烘烤除氣后,采用600L/S分子泵抽氣,前級采用4L/S);
系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系統(tǒng)從大氣開始抽氣到5.0x10-3 Pa,40分鐘可達到; 停泵關機12小時后真空度:≤5 Pa;
4采用樣品在下,噴淋頭在上的電容式耦合方式進氣;
5樣品加熱加熱溫度:500℃,溫控精度:±1°C,采用控溫表進行控溫;
6、噴淋頭尺寸:Φ90mm,噴淋頭與樣品之間電極間距40-100mm在線連續(xù)可調(可根據(jù)工藝調整),并帶有標尺指數(shù)顯示;
7 沉積工作真空:0.133-133Pa(可根據(jù)工藝調整);
8、射頻電源:頻率 13.56MHz,功率500W,全自動匹配;
9、.氣體種類(用戶提供),使用質量流量控制器控制進氣。

10、系統(tǒng)設有尾氣處理系統(tǒng)(用戶自備)。

產(chǎn)品規(guī)格

整機尺寸:1200x1500x1500mm;

標準配件

1

電源控制系統(tǒng)

1

2

真空機組

1

3

真空測量

1

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