半導體清洗污水處理設備

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半導體清洗廢水處理設備主要采取的處理工藝：

二次反應一級凝固十一級沉淀，系統(tǒng)流出離子濃度基本滿足L要求。如果增加次沉淀，作為第二反應沉淀次反應沉淀的第二階段沉淀反應，系統(tǒng)流出離子濃度可以控制在10毫克。

濃氨不脫吸收工藝-含溴廢水的第二階段沉淀工藝(含溴廢水和CMP研磨廢水混合處理)-三級酸堿和處理工藝。

直接投入二級反應組、酸堿原液，運行水不穩(wěn)定，藥劑消耗大。

反沖洗過濾器是利用過濾器直接攔截水中雜質(zhì)，去除水體懸浮物、顆粒物，降低濁度，凈化水質(zhì)，減少系統(tǒng)污垢、菌藻、腐蝕等，凈化水質(zhì)，恒沃創(chuàng)科系統(tǒng)其他設備正常運行的設備。反沖洗過濾器處理的水質(zhì)不僅達到國家規(guī)定的廢水排放標準，反沖洗過濾器處理的水源還可以重復使用，可以回收利用，從而節(jié)約水資源。

在半導體制造技術中，通過一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導體芯片，然后將所述半導體芯片進行封裝和電性測試，并最終形成終端產(chǎn)品。

目前，在半導體芯片的制造過程中，會產(chǎn)生大量的工業(yè)廢水且芯片制造生產(chǎn)工藝復雜，包括硅片清洗、化學氣相沉積、刻蝕等工序反復交叉，生產(chǎn)中使用了大量的化學試劑如HF、H2SO4、NH3・H2O等。所以一般芯片制造廢水處理系統(tǒng)有含氨廢水處理系統(tǒng)+含氟廢水處理系統(tǒng)+CMP。

在現(xiàn)有的廢水處理過程中，通常單獨使用序列間歇式活性污泥法(SBR)或生物接觸氧化法或曝氣生物濾池(BAF)，均只能對廢水進行單一的處理，例如為過濾或微生物反應或去除毒性等，由于處理方式過于單一，這常常導致過濾物質(zhì)很快堵塞的問題。因此，廢水處理仍有改善的空間。

半導體清洗廢水主要來自硅清洗、半導體零部件、零部件清洗、電鍍、酸洗等工藝。上述廢水的主要特征是高氨氮、高磷、含氟、含重金屬等。

針對半導體集成電路部件生產(chǎn)產(chǎn)生的電鍍廢水、酸堿廢水，研究流量控制、藥劑用量、反應攪拌強度，提出合理的處理工藝，確保廢水處理符合排放標準。

半導體清洗污水處理設備