章 ML33電渦流位移傳感器簡介
★ML33電渦流位移傳感器系統(tǒng)的工作原理簡介：
電渦流傳感器系統(tǒng)的工作原理是電渦流效應(yīng)，屬于一種電感式測量原理。電渦流效應(yīng)源自振蕩電路的能量。而電渦流需要在可導(dǎo)電的材料內(nèi)才可以形成。給傳感器探頭內(nèi)線圈導(dǎo)入一個交變電流,可以在探頭線圈周圍形成一個磁場。如果將一個導(dǎo)體放入這個磁場,根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律,導(dǎo)體內(nèi)會激發(fā)出電渦流。根據(jù)楞茲定律,電渦流的磁場方向與線圈磁場正好相反,而這將改變探頭內(nèi)線圈的阻抗值。這個阻抗值的變化與線圈到被測物體之間的距離直接相關(guān)。傳感器探頭連接到控制器后,控制器可以從傳感器探頭內(nèi)獲得電壓值的變化量,并以此為依據(jù),計算出對應(yīng)的距離值,電渦流測量原理可以測量所有導(dǎo)電材料。由于電渦流可以穿透絕緣體,即使表面覆蓋有絕緣體的金屬材料,也可以作為電渦流傳感器的被測物體。的圈式繞組設(shè)計在實(shí)現(xiàn)傳感器外形較致緊湊的同時,可以滿足其運(yùn)轉(zhuǎn)于高溫測量環(huán)境的要求。
★ML33電渦流位移傳感器的應(yīng)用范圍：
通過測量金屬被測體與探頭端的相對位置、電渦流位移傳感器感應(yīng)并處理成相應(yīng)的電信號輸出。傳感器可長期可靠工作、靈敏度高、抗力強(qiáng)、非接觸測量、響應(yīng)速度快不受油水等介質(zhì)的影響，在大型旋轉(zhuǎn)機(jī)械的軸位移、軸振動、軸轉(zhuǎn)速等參數(shù)進(jìn)行長期實(shí)時監(jiān)測中被廣泛應(yīng)用，并且被擴(kuò)展到衛(wèi)星發(fā)射、材料鑒定、稱重測量、金屬板厚測量、材料形變量等應(yīng)用領(lǐng)域。
★ML33電渦流位移傳感器的結(jié)構(gòu)組成：
一套完整的傳感器系統(tǒng)主要包括探頭、前置器和附件。產(chǎn)品實(shí)拍圖如下：
★ML33電渦流位移傳感器與同類產(chǎn)品的兼容性：
ML33系列電渦流位移傳感器的各各項(xiàng)性能指標(biāo)優(yōu)于某國外進(jìn)口公司的3300系列水平，優(yōu)于國內(nèi)同類產(chǎn)品。
第二章 ML33電渦流位移傳感器使用說明
節(jié) ML33電渦流位移傳感器產(chǎn)品說明
1、探頭
通常探頭由線圈、頭部、殼體、高頻電纜、高頻接頭組成，其典型結(jié)構(gòu)見2所示。
探頭典型結(jié)構(gòu)及安裝尺寸圖
名稱 探頭長度 代號 量程 安裝類型 螺紋規(guī)格 Φ5mm 探頭 5mm 01 1mm 標(biāo)準(zhǔn) M8X1.0 Φ8mm探頭 7mm 02 2mm 標(biāo)準(zhǔn) M9X1.0 Φ11mm探頭 8mm 04 4mm 標(biāo)準(zhǔn) M14X1.5 Φ16mm探頭 11mm 05 5mm 標(biāo)準(zhǔn) M18X1.5 Φ25mm探頭 20mm 12 12.5mm 標(biāo)準(zhǔn) M27X1.5 Φ50mm探頭 40mm 25 25mm 反裝 M18X1.5 Φ60mm探頭 50mm 50 50mm 反裝 M18X1.5
在制作過程中，探頭頭部體一般采用耐高溫PPS工程塑料或耐高溫的聚四氟，通過“二次注塑”成型將線圈密封其中。使探頭在惡劣的環(huán)境中能可靠工作。由于頭部體線圈直徑?jīng)Q定傳感器系統(tǒng)的線性量程，因此我們通常用頭部體外部直徑來分類和表征各型號探頭，一般情況下傳感器系統(tǒng)的線性量程大致是探頭頭部直徑的1/2～1/4倍。ML33系列傳感器共有Φ5、Φ8、Φ11，Φ16、Φ25、Φ50、Φ60共7種直徑的頭部 如下表格所示：
探頭殼體用于連接和固定探頭頭部，并用為探頭安裝時的裝夾結(jié)構(gòu)。殼體一般采用不銹鋼制成，一般上面刻有標(biāo)準(zhǔn)螺紋，并備有鎖緊螺母。為了能適應(yīng)不同的應(yīng)用和安裝場合，探頭殼體具有不同的形式和不同的螺紋及尺寸規(guī)格
探頭外觀實(shí)拍圖如下所示：
2、前置器
前置器是整個傳感器系統(tǒng)的信號處理中心。一方面，前置器為探頭線圈提供高頻交流激勵電流使探頭工作；另一方面，前置器通過特殊電路感應(yīng)出探頭頭部體與頭部體前金屬導(dǎo)體的間隙變化，經(jīng)過前置器的處理，產(chǎn)生隨間隙線性變化而變化的電壓或電流輸出信號
ML33系列前置器外形結(jié)構(gòu)如下：
前置器安裝尺寸圖如下：
前置器電路采用容錯設(shè)計；帶電源術(shù)性錯接保護(hù)和輸出短路保護(hù)；電源端、公共端（信號地）、輸出端任意接線錯誤不會損壞前置器。
前置器電路中除個別用于校準(zhǔn)用的元器件外，其他元件均用環(huán)氧樹脂膠灌封，這樣可以提供前置器的抗振、防潮性能。 測量量程 1mm 2mm 4mm 5mm 12.5mm 20mm 25mm 50mm 探頭直徑 Φ6mm Φ8mm Φ11mm Φ17mm Φ30mm Φ40mm Φ50mm Φ60mm 線性誤差 (%FS) ≤±0.25 ≤±0.25 ≤±0.5 ≤±0.5 ≤±1 ≤±1 ≤±1 ≤±2 分辨率 0.05um 0.1um 0.2um 0.25um 0.625um 1.0um 1.25um 2.5um 重復(fù)性 0.1um 0.2um 0.4um 0.5um 1.25um 2.0um 2.5um 5um 頻率響應(yīng) (-3dB) 0～10KHz 0～8KHz 0～2KHz 0～1KHz 輸出信號 0～5V，0～10V，4～20mA，RS485 供電電壓 電壓型+9～18VDC，+18～36VDC或±15V～±18VDC可選 電流型+22～30VDC,RS485型+12VDC 工作電流 電壓型＜45mA 電流型＜25mA RS485型＜40mA 紋波 ≤20mV 系統(tǒng)溫漂 ≤0.05%/℃ 靜態(tài)靈敏度 根據(jù)輸出信號和對應(yīng)量程而定 輸出負(fù)載 電壓輸出：負(fù)載能力＜10KΩ 電流輸出：負(fù)載能力＜500Ω 標(biāo)定時 環(huán)境溫度 （20±5）℃ 使用溫度 探頭-30℃～+150℃ 前置器-30℃～+85℃ 防護(hù)等級 探頭 IP67 前置器 IP65 探頭電纜 默認(rèn)2m，可定制 電源電纜 默認(rèn)2m，可定制
3、性能參數(shù)
4、接線定義：
| 電流型 | 電壓型 | RS485 | |
| 棕線 | 電源正 +24VDC | 電源正 +12VDC或+24VDC | 電源正 +12VDC |
| 黑線 | 空 | 電源負(fù) 0V | 電源負(fù) 0V |
| 藍(lán)線 | 電流輸出 OUT | 輸出正 OUT+ | RS485 A+ |
| 白線 | 空 | 輸出負(fù) OUT- | RS485 B- |
| 屏蔽線 | 接大地 GND | 接大地 GND | 接大地 GND |
5、產(chǎn)品命名規(guī)則：
6、產(chǎn)品出廠標(biāo)記：
一套完整的電渦流傳感器應(yīng)該包括前置器、探頭及延伸電纜。電渦流傳感器應(yīng)該一一對應(yīng)、配套使用，不能錯接；在出廠校驗(yàn)單上對成套的前置器、探頭及延伸電纜都進(jìn)行了編號，用戶可以很快地找出完整的一套傳感器對應(yīng)的前置器、探頭及延伸電纜。
*前置器型號和流水號在前置器殼體上表面醒目處。
*探頭及延伸電纜的型號和流水號封在電纜上靠近高頻接頭處的一段透明熱縮套管里。
用戶可以根據(jù)出廠校驗(yàn)單上所標(biāo)明的各型號和流水號，對照產(chǎn)品上的標(biāo)簽，按出廠校準(zhǔn)的情況進(jìn)行系統(tǒng)配套。一般要求在傳感器使用前都應(yīng)進(jìn)行校準(zhǔn)檢查，其是當(dāng)使用條件與出廠校準(zhǔn)條件不同時，特別是被測體材料與出廠校準(zhǔn)單注明校準(zhǔn)材料牌號不同時必須進(jìn)行重新校準(zhǔn)。
標(biāo)準(zhǔn)配套附件如下：
1、每個標(biāo)準(zhǔn)安裝探頭配2個螺母（六角薄螺母GB6173-86,材料1Cr18Ni9Ti,螺紋規(guī)格與探頭螺紋規(guī)格一致）2個彈簧墊圈
2、每個探頭配熱縮管套：規(guī)格Φ8，透明，長200mm（用于編號及保護(hù)轉(zhuǎn)接頭）。
3、每臺前置器配4顆M4X8 六角螺絲
其他相關(guān)資料如下：
1、產(chǎn)品合格證及出廠校驗(yàn)單
2、使用手冊
3、裝箱單（一份）
第三章 電渦流位移傳感器系統(tǒng)安裝
一、探頭安裝間隙
1、根據(jù)測量部位的量程、安裝空間的環(huán)境和尺寸、被測體材料等特性選定傳感器，并檢查傳感器的各部分外觀是否完好、各部分是否配套（如探頭直徑與前置器型號中規(guī)定的配套探頭直徑是否一致、探頭電纜長度是否符合前置器對電纜長度的要求等）。通常成套訂購的傳感器，在出廠時提供有數(shù)據(jù)校驗(yàn)單，校驗(yàn)單上注明了配套校準(zhǔn)的傳感器各部分的型號、編號，用戶可據(jù)此與產(chǎn)品上的標(biāo)記核對。然后在傳感器的探頭、前置器上分別進(jìn)行特定標(biāo)記。
2、探頭的電纜接頭是和內(nèi)部電路相接的，而且不具備密封性。為了避免接頭和機(jī)殼接觸以及加強(qiáng)密封性，應(yīng)該采用熱縮套管加熱收縮包緊接頭。這樣還能起到防止接頭松動的作用。不要用粘性的電工膠帶來絕緣接頭，因?yàn)橛挽F會溶解膠帶上的粘性物而污染接頭。
3、探頭電纜長度一經(jīng)選定，在使用時不能隨意縮短或加長，過長的電纜不能隨意剪斷，否則可能造成傳感器嚴(yán)重超差或不能正常工作。探頭電纜長度應(yīng)該與前置器要求的電纜長度一致。除非特殊規(guī)格。
4、將傳感器各部分聯(lián)接好，通電檢查傳感器，若超差，則需進(jìn)行重新校準(zhǔn)。檢查時應(yīng)特別注意校準(zhǔn)試件材料是否與被測體材料一致或具有相近成分。
5、如果未定購配套的安裝支架，則應(yīng)自行加工合適的安裝支架。外部安裝探頭支架比較復(fù)雜，一般應(yīng)訂購。
6、在機(jī)座上加工支撐安裝支架的螺孔，內(nèi)部安裝探頭的支架一般都需要兩個螺孔進(jìn)行緊固，外部安裝探頭的一般都是在機(jī)殼上加工帶螺紋的通孔。
7、緊固安裝探頭支架。如果是外部安裝探頭，則應(yīng)先將探頭緊固在支架上，再將支架擰進(jìn)安裝孔內(nèi)。
8、調(diào)整探頭安裝間隙。不同的用途，探頭的初始安裝間隙有不同的要求。
9、緊固安裝探頭。對于內(nèi)部安裝探頭，如果是采用角鋼支架則用兩個螺母背緊，采用夾塊則用緊固螺釘鎖緊；對于外部安裝探頭，則緊固外部安裝支架。緊固螺釘、螺母都應(yīng)加彈簧墊圈以防松動。
二、前置器的安裝：
變送器對工作環(huán)境的要求比探頭嚴(yán)格得多，通常將它安裝在遠(yuǎn)離危險區(qū)，其周圍環(huán)境應(yīng)該無腐蝕性氣體，干燥、震動小，環(huán)境溫度與室溫相差不大。在機(jī)器旁安裝，為了保證變送器工作安全可靠，有必要采用專用安裝盒。為了防止不同地電位造成的干擾，必須采用單點(diǎn)接地。
三、安裝注意事項(xiàng)：
1、對探頭安裝間隙的要求
安裝探頭時，應(yīng)考慮傳感器的線性測量范圍和被測間隙的變化量，當(dāng)被測間隙總的變化量與傳感器的線性工作范圍接近時，尤其要注意（在訂貨選型時應(yīng)使所選的傳感器線性范圍大于被測間隙的15%以上）。通常，測量振動時，將探頭的安裝間隙設(shè)在傳感器的線性中點(diǎn)；測量位移時，要根據(jù)位移往哪個方向變化或往哪個方向的變化量較大來決定其安裝間隙的設(shè)定。 當(dāng)位移向遠(yuǎn)離探頭端部的方向變化時，安裝間隙應(yīng)設(shè)定在線性近端；反之，則應(yīng)設(shè)在線性遠(yuǎn)端。
調(diào)整探頭安裝間隙可以采用下列方法
連接好探頭、延伸電纜、前置器，接通傳感器系統(tǒng)電源，用萬用表電壓檔監(jiān)測前置器的輸出，同時調(diào)節(jié)探頭與被測面的間隙，當(dāng)前置器的輸出等于安裝間隙所對應(yīng)的電壓或電流時（該值可由傳感器校準(zhǔn)數(shù)據(jù)單中查得），再擰緊探頭所帶的兩個緊固螺母即可。
通過測量前置器輸出電壓來確定安裝間隙，有可能會產(chǎn)生一種假象：當(dāng)探頭頭部還未露出安裝孔時，由于安裝孔周圍的金屬影響，可能使得前置器的輸出等于安裝間隙所對應(yīng)的電壓或電流輸出值。探頭調(diào)整到正確的安裝位置，前置器的輸出應(yīng)該是：首先是較大的飽和輸出（此時探頭還未放進(jìn)安裝孔中），然后是較小的輸出（此時探頭放進(jìn)安裝孔內(nèi)），繼續(xù)將探頭塞進(jìn)安裝孔，前置器的輸出會變?yōu)榈妮敵觯?此時探頭頭部露出安裝孔，但與被測面的間隙較大），再繼續(xù)塞進(jìn)探頭，前置器的輸出等于安裝間隙所對應(yīng)的值，此時探頭才是正確的安裝間隙。
2、對初始間隙的要求
各種型號電渦流傳感器，都是在一定的間隙電壓值下它的讀數(shù)才有較好的線性度，所以在安裝傳感器時必須調(diào)整好合適的初始間隙，對每一套產(chǎn)品都會進(jìn)行特性試驗(yàn)，繪出相應(yīng)的特性曲線，工程技術(shù)人員在使用傳感器的時候必須仔細(xì)研究配套的校驗(yàn)證書，認(rèn)真分析特性曲線，以確定傳感器是否滿足所要測量的間隙，一般傳感器直徑越大所測量間隙也越大。
3、對探頭支架的要求
電渦流傳感器安裝在固定支架上，因此支架的好壞直接決定測量的效果，這就要求支架應(yīng)有足夠的剛度以提高自振頻率，避免或減小被測體振動時支架也同時受激自振，支架的自振頻率至少應(yīng)為機(jī)械旋轉(zhuǎn)速度的10倍，支架應(yīng)與被測表面切線方向平行，傳感器垂直安裝在支架上，雖然探頭的中心線在垂直方向偏15°角時對系統(tǒng)特性沒有影響，但還是保證傳感器與被測面垂直。
4、被測體材料對傳感器測量結(jié)果的影響
傳感器特性與被測體的電導(dǎo)率磁導(dǎo)率有關(guān)，當(dāng)被測體為導(dǎo)磁材料（如普通鋼、結(jié)構(gòu)鋼等）時，由于渦流效應(yīng)和磁效應(yīng)同時存在，且磁效應(yīng)反作用于渦流效應(yīng)，使得渦流效應(yīng)減弱，即傳感器的靈敏度降低。而當(dāng)被測體為弱導(dǎo)磁材料（如銅，鋁，合金鋼等）時，由于磁效應(yīng)弱，相對來說渦流效應(yīng)要強(qiáng)，因此傳感器感應(yīng)靈敏度要高。
銅： 14.9V/mm
鋁： 14.0V/mm
不銹鋼（1Cr18Ni9Ti): 10.4V/mm
45號鋼： 8.2V/mm
40CrMo鋼： 8.0V/mm
5、被測體表面加工狀況對傳感器測量結(jié)果的影響
被測體正對探頭的表面光潔度也會影響測量結(jié)果！不光滑的被測體表面，在實(shí)際的測量應(yīng)用中會帶來較大的附加誤差，特別是對于振動測量，誤差信號與實(shí)際的振動信號疊加一起，并且在電氣上很難分離，因此被測表面應(yīng)該光潔，不應(yīng)存在刻痕、洞眼、凸臺、凹槽等缺陷（對于特意為鍵相器、轉(zhuǎn)速測量設(shè)置的凸臺或凹槽除外）。一般對于振動測量的被測表面粗糙度要求在0.4um～0.8um之間；對于位移測量被測表面粗糙度要求在0.4um～1.6um之間。如果不能滿足，需要對被測面進(jìn)行衍磨或拋光。
6、被測體表面殘磁效應(yīng)對傳感器的影響
電渦流效應(yīng)主要集中在被測體表面，如果由于加工過程中形成殘磁效應(yīng)，以及淬火不均勻、硬度不均勻、金相組織不均勻、結(jié)晶結(jié)構(gòu)不均勻等都會影響傳感器特性。在進(jìn)行振動測量時，如果被測體表面殘磁效應(yīng)過大，會出現(xiàn)測量波形發(fā)生畸變。
7、被測體表面鍍層對傳感器的影響
被測體表面的鍍層對傳感器的影響相當(dāng)于改變了被測體材料，視其鍍層的材質(zhì)、厚薄，傳感器的靈敏度會略有變化。
8、被測體表面尺寸對傳感器的影響
由于探頭線圈產(chǎn)生的磁場范圍是一定的，而被測體表面形成的渦流場也是一定的。這樣就對被測體表面大小有一定要求。為了防止電渦流產(chǎn)生的磁場影響儀器的正常輸出安裝時傳感器頭部四周必須留有一定范圍的非導(dǎo)電介質(zhì)空間，如果在某一部位要同時安裝兩個以上的傳感器，就必須考慮是否會產(chǎn)生交叉干擾，兩個探頭之間一定要保持規(guī)定的距離。
通常，當(dāng)被測體表面為平面時，以正對探頭中心線的點(diǎn)為中心，被測面直徑應(yīng)大于探頭頭部直徑的1.5倍以上；當(dāng)被測體為圓軸且探頭中心線與軸心線正交時，一般要求被測軸直徑為探頭頭部直徑的3倍以上，否則傳感器的靈敏度會下降，被測體表面越小，靈敏度下降越多。當(dāng)被測體表面大小與探頭頭部直徑相同，其靈敏度會下降到72%左右。被測體的厚度也會影響測量結(jié)果。被測體中電渦流場作用的深度由頻率、材料導(dǎo)電率、導(dǎo)磁率決定。因此如果被測體太薄，將會造成電渦流作用不夠，使傳感器靈敏度下降，一般要求厚度大于0.1mm以上的鋼等導(dǎo)磁材料及厚度大于0.05mm以上的銅、鋁等弱導(dǎo)磁材料，則靈敏度不會受其厚度的影響。
9、高頻同軸電纜對傳感器的影響
高頻同軸電纜也是影響電渦流傳感器電氣性能的一個主要原因。由于傳感器工作在高頻狀態(tài)（振蕩頻率約1MHZ左右），所以高頻同軸電纜的頻率衰減、溫度特性、阻抗、長度等都成為影響傳感器性能的因素！
10、外界磁場對傳感器的影響
