用途:清洗 別名:花籃、承載籃 用于半導(dǎo)體硅片,晶片,玻璃,液晶屏等清洗、腐蝕設(shè)備的承載花籃,太陽能電池片花籃、太陽能硅片花籃_太陽能硅片承載器、光伏電池片花籃、光伏硅片花籃,用于太陽能電池硅片清洗設(shè)備中,用于承載方形太陽能電池硅片,材質(zhì)為PFA,本產(chǎn)品即在100℃以下的NaOH溶液、HCl溶液、HF等溶液中對硅片進行清洗、轉(zhuǎn)換,且長期使用不變形、不污染硅片. 目前的尺寸有,6寸25片、4寸25片,2寸25片的清洗花籃,單梁雙梁提手,目前花籃形式有很多種,我公司也是可以定制方形,圓形晶片清洗花籃。
6英寸PFA cassette 高幫進口PFA材質(zhì)6英寸清洗花籃為晶圓片提供支撐和保護作用,A194-60MB 晶圓運輸盒對晶圓加工中的常用化學(xué)品都是耐受的。包括酸(鹽酸,硫酸,氫氟酸和硝酸),堿(氫氧化鈉,氫氧化鉀,氫氧化銨,過氧化氫),醇,酮,氯化溶劑和氟利昂。 溫度限制:高溫晶圓高溫硅片輸入極限溫度為290℃。連續(xù)使用極限溫度120℃。 晶圓容量:25片 型號:A194-60MB 晶圓直徑(mm):150mm (6英寸) 尺寸(mm): 143.38mm x 177.8mm x 171.45mm 材料:天然PFA(氟樹脂)