適用于多種晶圓量測應(yīng)用
? 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f
? 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
? 可靠性測試 - 精確的壓力測試
? *的測試控制軟件套件
? 支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
? 為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計的精密量測環(huán)境
? 支持飛安低漏電值量測
在建模和新技術(shù)開發(fā)過程中進(jìn)行器件表征的常見做法是,通過其精確的IV-CV,1 / f,RF,mmW和負(fù)載拉力測量從典型的幾個晶片中提取數(shù)據(jù)。
MPI的WaferWallet ™擴(kuò)展了TS3500系列自動化功能,而不會影響測量能力。WaferWallet ™設(shè)計有五個單獨的托盤,可按人體工程學(xué)手動裝載150、200 或300毫米的“模型”晶圓,可以在不同溫度下用多達(dá)五個相同的晶片進(jìn)行全自動測試。