NTEGRA Spectra
是一款的集成了掃描探針顯微鏡、激光共聚焦/熒光顯微鏡和拉曼光譜儀的系統(tǒng)。其強(qiáng)大的TERS效應(yīng),可在得到拉曼光譜的同時(shí)獲得高達(dá)50nm的成像分辨率。
只有NTEGRA Spectra能在軟件、硬件等技術(shù)方面為集成Renishaw的拉曼光譜系統(tǒng)提供的方案,以便用戶能在分子水平上用不同的技術(shù)手段來(lái)分析、研究樣品。這樣的集成,能讓用戶極大的提高工作效率,將更多的時(shí)間用于數(shù)據(jù)采集和分析,而無(wú)需為繁瑣的儀器操作而苦惱。所以,可以負(fù)責(zé)任的說(shuō):真正的集成是遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于簡(jiǎn)單的組合的。
激光共聚焦顯微鏡/拉曼光譜儀系統(tǒng)
NTEGRA Spectra 系統(tǒng)集成了激光掃描共焦光譜儀、光學(xué)顯微鏡和常規(guī)的掃描探針顯微鏡。該系統(tǒng)能用于發(fā)光光譜和拉曼散射的三維成像、所有的SPM功能,包括納米壓痕、納米加工和納米刻蝕等
掃描探針顯微鏡
除了光學(xué)檢測(cè)外,NTEGRA Spectra還可使用SPM的方法來(lái)研究樣品,諸如:AFM、MFM、STM、SNOM、力譜等等。這樣的集成了光學(xué)方法和掃描探針?lè)椒ê隙橐坏南到y(tǒng),為用戶完成復(fù)雜的實(shí)驗(yàn)變成可能,用戶可從實(shí)驗(yàn)中得到樣品的光學(xué)分布信息、化學(xué)性質(zhì)、力學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)和磁學(xué)性質(zhì)等。
用超越激光衍射極限的系統(tǒng)來(lái)研究樣品
NTEGRA Spectra 在檢測(cè)樣品時(shí),能提供超越激光光學(xué)衍射的光學(xué)分辨率。近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡和TERS系統(tǒng)能讓用戶得到光學(xué)性質(zhì)分布圖(激光傳輸、散射和偏振等)的同時(shí)獲得拉曼散射光譜和高達(dá)50nm的XY方向分辨率。
技術(shù)參數(shù):
共聚焦顯微鏡
光學(xué)模塊 正置或倒置光學(xué)顯微鏡觀測(cè)系統(tǒng)
可見(jiàn)光譜測(cè)量 (390-800nm)
激發(fā)光路中配置手動(dòng)式格蘭-泰勒起偏棱鏡 390-1000nm
檢測(cè)光路中配置電動(dòng)式格蘭-泰勒檢偏棱鏡 390-1000nm
三軸定位電動(dòng)式1/2波片
光束分離器
可選配倏逝激發(fā)系統(tǒng)(用于TERS)
光學(xué)分辨率 XY: 200nm
Z:500nm
掃描模塊 樣品質(zhì)量:1000g
掃描范圍:100x100x25 um
XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng)
XY方向非線性度: % (典型值)
Z方向噪音水平: XY方向噪音水平:共聚焦針孔 直徑0~可調(diào),步進(jìn) um
注:無(wú)論樣品是否透明,都可用我們的共聚焦顯微鏡在空氣或液體環(huán)境中對(duì)其進(jìn)行研究。
拉曼光譜儀
光譜儀焦長(zhǎng) 520 mm
激光器波長(zhǎng)* 441, 488, 514, 532, 633 nm
雜散光抑制 10-5,(20nm 用632nm激光器 )
平場(chǎng)面積 28 mm x 10 mm
光譜分辨率 nm (1200 l/mm光柵 )
端口 1輸入,2輸出
光柵座 4孔轉(zhuǎn)盤(3 個(gè)光柵+“直接成像”模式用的反射鏡)
探測(cè)器 CCD:光譜響應(yīng)范圍:200–1000 nm,電冷裝置冷卻至–80°C,500nm時(shí)95% 量子效率
用于光子計(jì)數(shù)的APD 光譜相應(yīng)范圍:400–1000 nm,暗計(jì)數(shù)=25/秒,提供高達(dá)1GHz計(jì)算速度的PCI 卡。 * 標(biāo)準(zhǔn)配置中包括一套488 nm激光器,其他波長(zhǎng)激光器可選配
可選配其他光柵。小階梯光柵具有的光譜分辨率
可選用PMT
掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡
功能模式:剪切力成像/SNOM反射模式,透射模式,熒光模式(選配)
激光模塊 耦合裝置:X-Y-Z 定位器,定位精度1 um
V型槽光纖固定器
裝配40x物鏡
光纖傳輸系統(tǒng) KineFlexTM
光束衰減器:可配多種減光鏡
剪切力成像 樣品尺寸:直徑100mm,厚度15mm
XY二維樣品移動(dòng)平臺(tái):樣品定位范圍5x5mm,樣品定位精度5um
XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng)
樣品掃描式 針尖掃描式
掃描范圍 100x100x25 um 100x100x7 um
非線性度 XY %(典型值) 噪音水平 Z 噪音水平 XY 石英音叉基頻 190 kHz
光纖孔徑 可同時(shí)采集的數(shù)據(jù)通道 反射模式
透射模式/熒光模式
PMT 光譜響應(yīng)范圍:185-850 nm
靈敏度:3x1010,420 nm時(shí)
隔振系統(tǒng) 主動(dòng)式: Hz
被動(dòng)式:大于1 kHz
掃描探針顯微鏡
功能模式:AFM(接觸+半接觸+非接觸)/側(cè)向力模式/相位成像模式/力調(diào)制模式/粘滯力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡/掃描電容顯微鏡/掃描開爾文探針顯微鏡/擴(kuò)展電阻成像模式/刻蝕:AFM(力和電流)
樣品尺寸* 直徑100mm,厚度15mm
掃描范圍 50x50x5 um
閉環(huán)控制系統(tǒng) XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng),采用電容傳感器
非線性度 XY 噪音水平 Z nm(典型值),噪音水平 XY nm(典型值),*掃描頭部可單獨(dú)使用,此時(shí)對(duì)樣品尺寸和重量無(wú)限制
內(nèi)置的電容傳感器擁有極低的噪音水平,即使降到50x50 nm的區(qū)域也可以用閉環(huán)控制來(lái)掃描
主要特點(diǎn):
AFM探針和激光光斑的同步協(xié)調(diào)。AFM探針可在納米級(jí)的精度上定位于激光光斑中—在TERS中,這是必要的條件。在激光掃描和樣品掃描的6個(gè)軸中,全部采用全量程閉環(huán)控制系統(tǒng)。
高數(shù)值孔徑的光學(xué)物鏡和SPM系統(tǒng)緊密的集成在一起,讓系統(tǒng)的光學(xué)穩(wěn)定性達(dá)到的高度—為長(zhǎng)程和微弱的信號(hào)而設(shè)計(jì)。
反射模式的激光光路可用于激光共聚焦成像。
電冷至-70°C的CCD,用于光譜探測(cè)和成像。
也可選用APD來(lái)進(jìn)行光子計(jì)數(shù)。
在激發(fā)通道和檢測(cè)通道中,用戶可靈活方便的配置偏光光路。
多功能的集成軟件控制系統(tǒng),所有的系統(tǒng)模塊包括AFM、光路系統(tǒng)和機(jī)械系統(tǒng)都由統(tǒng)一的軟件來(lái)控制。激光器、光柵、針孔等等,都可由軟件來(lái)切換或調(diào)節(jié)。
NT-MDT可根據(jù)用戶需求定制不同使用需求的TERS系統(tǒng)。