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美國FEI Helios 5 CX DualBeam掃描電鏡

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  • 公司名稱深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)Helios 5 C
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/16 16:53:07
  • 訪問次數(shù)460
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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司創(chuàng)建于2011年,經(jīng)過十年的發(fā)展,已經(jīng)成長(zhǎng)為一家專注于電子材料、半導(dǎo)體儀器設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等??萍紕?chuàng)新是科時(shí)達(dá)公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。我們擁有一支高度專業(yè)化的技術(shù)研發(fā)和管理團(tuán)隊(duì),建立了國內(nèi)的實(shí)驗(yàn)室和光電研究中心,與多家科研機(jī)構(gòu)與大專院校開展“產(chǎn)、學(xué)、研”合作,成功開發(fā)出一系列具有高科技含量的市場(chǎng)產(chǎn)品,公司產(chǎn)品通國內(nèi)科研機(jī)構(gòu)的產(chǎn)品認(rèn)證。同時(shí),公司擁有電子信息領(lǐng)域相對(duì)完備的科技創(chuàng)新體系,在電子裝備、醫(yī)療設(shè)備、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、網(wǎng)絡(luò)安全等領(lǐng)域占據(jù)技術(shù)主導(dǎo)地位,肩負(fù)著支撐科技自立自強(qiáng)、推進(jìn)國內(nèi)科技現(xiàn)代化、加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展、服務(wù)社會(huì)民生的重要職責(zé)。聚焦“三大定位”主責(zé),科時(shí)達(dá)公司按照“做優(yōu)電子裝備、做大儀器設(shè)備、做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、做強(qiáng)研發(fā)銷售”的總體布局,持續(xù)優(yōu)化核心業(yè)務(wù)體系,推動(dòng)企業(yè)在科技現(xiàn)代化建設(shè)、現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)的核心關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn)上“布點(diǎn)”,在產(chǎn)業(yè)鏈價(jià)值鏈創(chuàng)新鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)上“成線”,在關(guān)系國家、國民經(jīng)濟(jì)命脈和國計(jì)民生關(guān)鍵領(lǐng)域上“控面”。做強(qiáng)電子裝備,重點(diǎn)發(fā)展利用聲、光、電磁信號(hào)進(jìn)行信息感知、傳輸、運(yùn)用等的系統(tǒng)級(jí)裝備和產(chǎn)品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實(shí)在高校科研領(lǐng)域和高科枝企業(yè)的提供地位。做大儀器設(shè)備,重點(diǎn)發(fā)展半導(dǎo)體儀器基礎(chǔ)設(shè)施和醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用與整體解決方案,全面支撐基于網(wǎng)絡(luò)信息體系的聯(lián)合和全域能力提升、國家治理能力提升和數(shù)字化發(fā)展。做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),重點(diǎn)打造形成電子基礎(chǔ)產(chǎn)品科研和生產(chǎn)的基礎(chǔ)支撐能力,以夯實(shí)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控能力為根本目標(biāo),推動(dòng)以“科時(shí)達(dá)基因”為核心的銷售集群式發(fā)展。做強(qiáng)研發(fā)銷售,致力于電子產(chǎn)品的研發(fā)。科時(shí)達(dá)公司是一家,多年來公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)致力于電子材料、半導(dǎo)體儀器和醫(yī)療設(shè)備的研發(fā)。同時(shí)企業(yè)還致力于將產(chǎn)品做好國內(nèi)外市場(chǎng)銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生存,科時(shí)達(dá)公司以超凡的品質(zhì)和優(yōu)良的服務(wù),獲得國內(nèi)外市場(chǎng)的一致認(rèn)可;公司營銷網(wǎng)絡(luò)覆蓋,產(chǎn)品世界各地,目前已經(jīng)成為國內(nèi)電子科技行業(yè)中重要的生產(chǎn)制造基地。
美國FEIHelios5CXDualBeam掃描電鏡DualBeamTM技術(shù)的突破性創(chuàng)新–更快速、更簡(jiǎn)單Helios5CXDualBeam結(jié)合ThermoScientific™AutoTEM™5軟件,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)原位TEM制樣
美國FEI Helios 5 CX DualBeam掃描電鏡 產(chǎn)品信息

美國FEI Helios 5 CX DualBeam掃描電鏡



DualBeamTM 技術(shù)的突破性創(chuàng)新 – 更快速、更簡(jiǎn)單



Helios 5 CX DualBeam 結(jié)合Thermo Scientific™AutoTEM™ 5 軟件,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)原位 TEM 制樣。幫助不同經(jīng)驗(yàn)水平用戶獲取質(zhì)量結(jié)果,制樣無需值守從而顯著提高工作效率。

使用Helios 5 CX DualBeam 系統(tǒng)和 AS&V4 軟件制備樣品表面用于三維數(shù)據(jù)采集。



主要優(yōu)勢(shì)

。Tomahawk HT 離子鏡筒實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、定點(diǎn) TEM 和 APT 制樣

??蛇x AutoTEM 5 軟件,實(shí)現(xiàn)、、全自動(dòng)、無人值守、多點(diǎn)原位和非原位TEM樣品制備和橫截面加工

。 Elstar 電子鏡筒搭載 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù),可為任何經(jīng)驗(yàn)水平的用戶在最短時(shí)間內(nèi)獲取納米尺度信息

。多達(dá) 6 個(gè)集成化鏡筒內(nèi)及透鏡下探測(cè)器,采集優(yōu)質(zhì)、銳利、無荷電圖像,提供最完整的樣品信息

??蛇x AS&V4 軟件,精確定位感興趣區(qū)域,獲取質(zhì)量、多模態(tài)內(nèi)部和三維信息

。小于 10 nm 復(fù)雜結(jié)構(gòu)的快速、準(zhǔn)確、精確加工和沉積


。高靈活度 110 mm 樣品臺(tái)和樣品倉 Nav-Cam 相機(jī)實(shí)現(xiàn)樣品處理和導(dǎo)航

。集成化樣品清潔管理和專用的 DCFI 和 Thermo Scientific SmartScan™ 等模式實(shí)現(xiàn)無偽影成像





分辨成像并獲取確的材料襯度

Helios 5 CX DualBeam 系統(tǒng)采用超高亮度電子槍,配置全新一代 UC +單色器技術(shù),在電子束流高達(dá) 100 pA 條件下可將電子束能量擴(kuò)展降至 eV以下,因而可在低著陸能量下實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率和表面靈敏度。創(chuàng)新的 Elstar 電子鏡筒為系統(tǒng)的分辨率成像性能奠定了基礎(chǔ)。無論是在 STEM 模式下以 30 keV來獲取結(jié)構(gòu)信息,還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息,系統(tǒng)可在泛的工作條件下提供的納米級(jí)細(xì)節(jié)。鏡筒內(nèi)三重檢測(cè)技術(shù)和浸沒式模式可同時(shí)采集角度和能量選擇性 SE 和 BSE 圖像。無論是將樣品豎直或傾斜放置進(jìn)行觀察,亦或是觀察樣品截面,都可確??焖佾@取最詳細(xì)的納米級(jí)信息。附加的透鏡下探測(cè)器和電子束減速模式可確保快速、輕松地同時(shí)采集所有信號(hào),以顯示材料表面或截面中的最小


特征。Elstar 鏡筒擁有多項(xiàng)設(shè)計(jì)可快速獲取準(zhǔn)確且可重復(fù)的結(jié)果,如恒定功率透鏡(獲得更高熱穩(wěn)定性)和靜電掃描(提供高偏轉(zhuǎn)性度和速度)。



Helios 5 CX DualBeam 引入創(chuàng)新的 SmartAlign 技術(shù),無需再手動(dòng)進(jìn)行電子鏡筒對(duì)中,不僅極大程度減少了系統(tǒng)的維護(hù)工作量,而且提高了操作人員工作效率。通常,觀察不同材料要獲取結(jié)果,都需要進(jìn)行電子束精調(diào),精調(diào)步驟一般包括聚焦、透鏡居中和消像散等,精調(diào)的過程既困難又耗時(shí)。步驟一般包括聚焦、透鏡居中和消像散等,精調(diào)的過程既困難又耗時(shí)。為了解決這個(gè)問題,Helios 5 CX DualBeam 引入了新的精細(xì)圖像調(diào)節(jié)功能FLASH 技術(shù)。 借助 FLASH 技術(shù),您只需要在圖形用戶界面中執(zhí)行簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)操作即可,該過程類似于對(duì)圖像進(jìn)行聚焦,系統(tǒng)則“實(shí)時(shí)”進(jìn)行消像散、透鏡居中和圖像聚焦。平均而言,F(xiàn)LASH 技術(shù)可以使獲得優(yōu)化圖像所需的時(shí)間最多縮短 10 倍。


真實(shí)環(huán)境條件的樣品原位實(shí)驗(yàn)

Helios 5 CX DualBeam 系統(tǒng)專為材料科學(xué)中挑戰(zhàn)性的材料微觀表征需求而設(shè)計(jì),可配置全集成化、極快速 MEMS 熱臺(tái) μHeater,在更接近真實(shí)環(huán)境的工作條件下進(jìn)行樣品表征。系統(tǒng)結(jié)合了擴(kuò)展的沉積和蝕刻功能、優(yōu)化的樣品靈活性和控制能力,以及用于定制自動(dòng)化的Thermo Scientific™ AutoScript 4™ 軟件,成為的 DualBeam 系統(tǒng),所有這些都由賽默飛的專業(yè)應(yīng)用和服務(wù)支持。


質(zhì)量?jī)?nèi)部和三維信息

內(nèi)部或三維表征有助于更好地理解樣品的結(jié)構(gòu)和性質(zhì),Helios 5 CX DualBeam 系統(tǒng)選配 Thermo Scientific™ Auto Slice&View™4軟件,以質(zhì)量、全自動(dòng)地采集多種三維信息,其中,三維 BSE 圖像提供材料襯度,三維 EDS 提供成分信息,而三維 EBSD 提供顯微結(jié)構(gòu)和晶體學(xué)信息。結(jié)合Thermo Scientific™ Avizo™軟件,Helios 5 CX DualBeam 系統(tǒng),系統(tǒng)可為納米尺度的分辨、


*三維表征和分析提供的工作流程解決方案。



電子光學(xué)

? Elstar 超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描鏡筒,配有:

– 浸沒式電磁物鏡

– 高穩(wěn)定性的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍,用于提供穩(wěn)定高分辨率分析電流

? SmartAlign:自動(dòng)合軸技術(shù)

? 帶極靴保護(hù)的 60 度雙物鏡透鏡,支持傾斜較大的樣品

? 自動(dòng)加熱式光闌,可確保清潔和無接觸式更換光闌孔

? 靜電掃描,提高偏轉(zhuǎn)線性度和速度

? Thermo Scientific™ ConstantPower™ 透鏡技術(shù),獲得更高熱穩(wěn)定性

? 集成快速電子束閘*

? 電子束減速,樣品臺(tái)偏壓 0 V 到 -4 kV*

? 電子源壽命至少 12 個(gè)月





電子束參數(shù)

? 電子束流范圍: pA - 176 nA

? 加速電壓范圍:200 V - 30 kV

? 著陸能量范圍: 20 eV * - 30 keV

? 水平視場(chǎng)寬度:4 mm 工作距離下為 mm離子光學(xué)


電子束分辨率

? 在工作距離下:

– 30 kV 下STEM nm

– 15 kV 下 nm

– 1 kV 下 nm

– 1 kV 下 nm (電子束減速模式) *

? 在束重合點(diǎn):

– 15 kV 下 nm

– 1 kV 下 nm(電子束減速模式 * 及 DBS 探測(cè)器*)





Tomahawk HT 離子鏡筒,的大束流性能

? 離子束流范圍:1 pA – 100 nA

? 加速電壓范圍:500 V - 30 kV

? 兩級(jí)差分抽吸

? 飛行時(shí)間(TOF)校準(zhǔn)

? 15 孔光闌

? 水平視場(chǎng)寬度:在束重合點(diǎn)處為 mm

? 離子源壽命至少 1,000 小時(shí)


離子束分辨率(在重合點(diǎn)處)

– 30 kV下 nm(采用統(tǒng)計(jì)方法)

– 30 kV下 nm(采用選邊法)





探測(cè)器

? Elstar 透鏡內(nèi) SE/BSE 探測(cè)系統(tǒng)(TLD-SE、TLD-BSE)

? Elstar 鏡筒內(nèi) SE/BSE 探測(cè)系統(tǒng)(ICD) *

? Elstar 鏡筒內(nèi) BSE 探測(cè)系統(tǒng)(MD) *

? Everhart-Thornley 二次電子探測(cè)器(ETD)

? 樣品室紅外 CCD 相機(jī),用于樣品臺(tái)高度觀察

? 高性能電子及離子探測(cè)器(ICE),用于采集二次電子和二次離子*

? 樣品室內(nèi) Nav-Cam 相機(jī),用于樣品導(dǎo)航 *

? 可伸縮式低電壓、高襯度、定向固態(tài)背散射電子探測(cè)器(DBS)*

? 可伸縮 STEM 3+ 分割式探測(cè)器(BF、DF、HAADF) *

? 集成電子束流測(cè)量




樣品臺(tái)和樣品

高度靈活的五軸電動(dòng)樣品臺(tái):

? XY 范圍:110 mm

? Z 范圍:65 mm

? 旋轉(zhuǎn):360°(連續(xù))

? 傾斜范圍:-15° 到 +90°

? 樣品高度:與優(yōu)中心點(diǎn)間隔 85 mm

? 樣品質(zhì)量:任意位置處為 500 g(包括樣品托);0°傾斜時(shí)可達(dá) 5kg;

? 樣品尺寸:可沿 X、Y 軸旋轉(zhuǎn)時(shí)直徑為 110mm(若樣品超出此限值,則樣品臺(tái)行程和旋轉(zhuǎn)會(huì)受限)

? 同心旋轉(zhuǎn)和傾斜





真空系統(tǒng)

? 無油的真空系統(tǒng)

? 樣品倉真空(高真空):
? 抽氣時(shí)間:
? 電子束和離子束重合點(diǎn)在分析工作距離處( 4 mm SEM )

? 端口:21 個(gè)

? 內(nèi)寬:379 mm

? 集成等離子清洗


樣品托

? 標(biāo)準(zhǔn)多功能樣品托,以方式直接安裝到樣品臺(tái)上,可容納 18 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品托架(φ12 mm)、3 個(gè)預(yù)傾斜樣品托、2 個(gè)垂直和2 個(gè)預(yù)傾斜側(cè)排托架(38° 和 90°),樣品安裝無需工具

? Vise 樣品托可夾持不規(guī)則、大或中的樣品到樣品臺(tái)上

? 各種晶片和定制化樣品托可按要求提供*





圖像處理器

? 駐留時(shí)間范圍:25 納秒 – 25 毫秒/像素

? 65000× 65000 像素

? 文件類型:TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP 或 JPEG 標(biāo)配

? SmartSCAN™ (256 幀平均或積分、線積分和平均法、跨行掃描)

? DCFI (漂移補(bǔ)償幀積分)


系統(tǒng)控制

? 64 位 GUI(Windows® 10,)、鍵盤、光學(xué)鼠標(biāo)

? 可同時(shí)激活多達(dá) 4 個(gè)視圖,分別顯示不同束圖像和/或信號(hào),真彩信號(hào)混合

? 本地語言支持:請(qǐng)與當(dāng)?shù)?Thermo Fisher 銷售代表聯(lián)系確認(rèn)可用語言包

? 兩臺(tái) 24 英寸寬屏顯示器 1920 x 1200,用于系統(tǒng)GUI和全屏圖像觀察

? 顯微鏡控制和支持計(jì)算機(jī)無縫共享一套鍵盤、鼠標(biāo)和顯示器

? Joystick 操縱桿*

? 多功能控制板*

? 遠(yuǎn)程控制和成像*





支持軟件

? “Beam per view”圖形用戶界面,可同步激活多達(dá)4 個(gè)視圖

? Thermo Scientific™ SPI™(同步FIB加工和SEM成像)、iSPI™(間歇式SEM成像和FIB加工)、iRTM™(集成化實(shí)施監(jiān)測(cè))和 FIB 浸入模式,用于高級(jí)、實(shí)時(shí)SEM和FIB過程監(jiān)測(cè)和端點(diǎn)測(cè)量

? 支持的圖形:直線、矩形、多邊形、圓形、圓環(huán)、截面、清潔截面

? 直接導(dǎo)入BMP文件或流文件進(jìn)行三維刻蝕和沉積

? 材料文件支持“最短循環(huán)時(shí)間”、束調(diào)諧和獨(dú)立重疊

? 圖像配準(zhǔn)支持導(dǎo)入圖像進(jìn)行樣


品導(dǎo)航

? 光學(xué)圖像上的樣品導(dǎo)航配件*

? GIS(氣體注入系統(tǒng))解決方案:

– 單個(gè)GIS:多達(dá) 5 個(gè)獨(dú)立單元,用于增強(qiáng)蝕刻或沉積

– Thermo Scientific™ MultiChem™:在同一單元上有多達(dá) 6 種化學(xué)選項(xiàng),用于*蝕刻和沉積控制

? GIS – 束化學(xué)選項(xiàng)

– 鉑沉積

– 鎢沉積

– 碳沉積

– 絕緣體沉積II

– 金沉積

– Thermo Scientific™ Enhanced Etch™ (碘、)

– 絕緣體優(yōu)化的蝕刻(XeF2)

– Thermo Scientific™ Delineation Etch™ ()

– 選擇性碳刻蝕()

– 空坩堝,用于經(jīng)批準(zhǔn)的用戶提供的材料

– 更多束化學(xué)選項(xiàng)可按要求提供

? Thermo Scientific™ EasyLift™ 系統(tǒng)用于精確原位樣品操縱

? FIB 荷電中和器

? 分析:EDS、EBSD、WDS

? Thermo Scientific™ QuickLoader™


軟件選項(xiàng)*

? Thermo Scientific™ AutoTEM™ 軟件,用于自動(dòng)化 S/TEM 制樣

? Thermo Scientific™ AutoScript™ 4 軟件,雙束自動(dòng)化套件

? Thermo Scientific™ Maps™ 軟件,用于大區(qū)域的自動(dòng)圖像采集、拼接和關(guān)聯(lián)

? Thermo Scientific™ NanoBuilder™ 系統(tǒng):基于CAD (GDSII) 的*專有解決方案,用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)FIB 和束沉積優(yōu)化的納米原型制備

? AS&V4 軟件:自動(dòng)化連續(xù)刻蝕和觀察,采集連續(xù)切片圖像、EDS 或EBSD 圖像進(jìn)行三維重建

? Avizo 三維重建及分析軟件

? CAD 導(dǎo)航

? 基于 Web 的數(shù)據(jù)庫軟件

? 高級(jí)圖像分析軟件



Thermo Scientific Helios 5 D ualBeam 產(chǎn)品系列憑借其*的聚焦離子束和電子束性能、專有軟件、自動(dòng)化和易用性特征,重新定義了樣品制備和三維表征的標(biāo)準(zhǔn)。


Thermo Scientifc™ Helios™ 5 CX DualBeam 系統(tǒng)屬于業(yè)界的 Helios DualBeam 系列的第五代產(chǎn)品,專為滿足科學(xué)家和工程師的各類分析及研究需求而設(shè)計(jì),它將創(chuàng)新的 Thermo Scientific™ Elstar™ 電子鏡筒和的 Thermo Scientifc™ Tomahawk™ 離子鏡筒有機(jī)結(jié)合,前者可實(shí)現(xiàn)分辨率成像和材料襯度,而后者可實(shí)現(xiàn)速、、確的高質(zhì)量樣品制備。系統(tǒng)不僅配置的電子和離子光學(xué)系統(tǒng),還采用了一系列的技術(shù),可實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單一致的高分辨率 S/TEM 和原子探針斷層掃描(APT)樣品制備,以及質(zhì)量的內(nèi)部和三維表征,即使在挑戰(zhàn)性的樣品上也表現(xiàn)出色。



質(zhì)量、超薄 TEM 制樣

科學(xué)家和工程師不斷面臨新的挑戰(zhàn),需要對(duì)具有更小特征的日益復(fù)雜的樣品進(jìn)行高度局部化表征。Helios 5 CX DualBeam 系統(tǒng)的創(chuàng)新結(jié)合最易于使用、面的 Thermo Scientific 專業(yè)應(yīng)用知識(shí),可快速輕松地定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。為了獲得高質(zhì)量


的結(jié)果,需要使用低能離子進(jìn)行精拋,以限度地減少樣品的表面損傷。Tomahawk HT 聚焦離子束(FIB)鏡筒不僅可以在高電壓下進(jìn)行高分辨率成像和刻蝕,而且具有良好的低電壓性能,可以制備高質(zhì)量的 TEM 薄片。

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