德國 PVA TePla 等離子清洗機
型號:IoN 40等離子清洗機
規(guī)格參數(shù)
工作腔室材料:鋁
容積: 升
內部尺寸: 229 x 330 x 483 mm
工藝氣體:
質量流量控制計: 最多至6路氣體
工藝壓力: 200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時間: 大約1分鐘 (取決于真空泵)
放氣:可調
射頻發(fā)生器: 風冷,600 瓦(標準配置)
供給需求電源:220V 單相, KW, 50Hz
工藝氣體:輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體:輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣: 輸入壓力 4-6 bar
尺寸: 寬/高/深 775 x 723 x 781 mm(不含泵)
重量: 約157千克(不含泵)
可選電極:
● 可抽卸的多層電極板
● 垂直電極
● 3層溫控電極
● 低微粒電極
● 次級等離子體電極
可選項
● 壓力控制器
● 1%精度的真空規(guī)
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點檢測器
● 300 瓦 MHz射頻發(fā)生器
● 水冷機
● 單體處理裝置
● 真空泵(油泵或干泵)
● 氣相MFC