德國Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機
基本設(shè)備:
。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm
。腔室容積:約35升
。供電電源:230V/16A
氣源:
。3個質(zhì)量流量控制器(MFCs)
控制系統(tǒng):
。PCCE控制系統(tǒng)(Microsoft Windows XPe)
發(fā)生器:
。頻率:40KHz, 功率 0-500W
, 功率 0-300W
。直流偏置電源或單極性脈沖,功率300W,電壓600V,直流電
。發(fā)生器為 0-99% 無級可調(diào)型
真空腔室:
。硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩,直徑315MMx高500MM
真空泵:
。規(guī)格和制造商均各有不同(按照活性炭過濾器的需要)
濺射源:
。1個濺射源2"-3"+擋板(可為反應(yīng)過程選配排煙管和進氣口)
基材支架:
。直徑140MM(可選擇旋轉(zhuǎn)型,基材加熱器,基材冷卻裝置)
??汕袚Q為等離子預(yù)處現(xiàn)的電極(清洗,活化,蝕刻)
壓力測量:
。Pirani
其它選項:
備件套件,壓力計,腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu),氣瓶,減壓器,加熱板,溫度顯示器,加熱型腔室,F(xiàn)araday Box, 等離子體聚合配件,試墨水,氧氣發(fā)生器,慢速通風(fēng)裝置,慢速抽吸裝置,TEM樣品架法蘭,維護/服務(wù),當?shù)卣Z言的文件,現(xiàn)場安裝,包括培訓(xùn),可應(yīng)需求提供的其它選項。