MSLM-120X100-INXY-E50倒置顯微鏡直線電機(jī)平臺(tái)
匹配顯微鏡型號(hào):
OLYMPUS IX53/73/83
NIKON Ti
接受其它顯微鏡型號(hào)定制
MSLM-100X100-INXY-E50工業(yè)顯微鏡直線電機(jī)平臺(tái)是專門針對(duì)主流研究級(jí)倒置顯微鏡設(shè)計(jì)開發(fā)的產(chǎn)品,相比傳統(tǒng)的絲桿驅(qū)動(dòng)平臺(tái),它具有精度更佳、響應(yīng)更快、速度更高、壽命更長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。而且由于直線電機(jī)屬于非接觸式直驅(qū)機(jī)構(gòu),幾乎無(wú)噪音,是傳統(tǒng)顯微鏡平臺(tái)的優(yōu)化升級(jí)產(chǎn)品。
主要尺寸及性能參數(shù):
●行程:120mm x 100mm
●光柵分辨率:50nm
●最小步長(zhǎng):100nm
●重復(fù)定位精度:≤±250nm
●速度:≥300mm/s
●導(dǎo)軌類型:交叉滾柱導(dǎo)軌
●負(fù)載:≥5kg
●直驅(qū)機(jī)構(gòu),無(wú)回程間隙
●主體材質(zhì):航空級(jí)鋁合金
●表面處理:上滑臺(tái)面噴砂及硬質(zhì)陽(yáng)極氧化,其余結(jié)構(gòu)件普通陽(yáng)極氧化
產(chǎn)品型號(hào)命名規(guī)則:
MSLM - 120X100 - INXY - E50
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1MSLM是直線電機(jī)顯微鏡平臺(tái)的英文縮寫
2120x100代表著該型號(hào)產(chǎn)品的有效行程,單位mm,如需其它行程,可聯(lián)系廠家溝通定制
3INXY代表工作軸方向及類型,IN是INVERT倒置的意思,默認(rèn)按照笛卡爾坐標(biāo)系確認(rèn)方向
4E50代表該型號(hào)產(chǎn)品光柵的分辨率,單位nm,默認(rèn)產(chǎn)品分辨率為50nm,可選20nm/100nm/0.5um/1um/5um等,分辨率的改變會(huì)導(dǎo)致平臺(tái)速度以及重復(fù)定位精度的變化,詳細(xì)情況請(qǐng)進(jìn)一步咨詢廠家
特別注意事項(xiàng):
1、直線電機(jī)平臺(tái)屬于高精度精密設(shè)備,因此如果希望得到性能,需要保證足夠的使用環(huán)境,尤其在使用要求重復(fù)定位精度小于1um的設(shè)備上,所有指標(biāo)的復(fù)現(xiàn)都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動(dòng)等,詳細(xì)要求可進(jìn)一步聯(lián)系廠家咨詢溝通
2、所有平臺(tái)可單獨(dú)訂購(gòu),如對(duì)設(shè)備的精度以及性能要求較高,推薦使用奧正智能自主生產(chǎn)的MCS控制器系列,搭配MCS系列控制器出貨的產(chǎn)品,在出廠檢驗(yàn)中都會(huì)做針對(duì)性的優(yōu)化和校準(zhǔn),是您高要求使用的。