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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

SAMCO二手現(xiàn)貨ICP刻蝕機(jī)RIE-400iP

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱青島佳鼎分析儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/12 18:45:01
  • 訪問(wèn)次數(shù)261
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青島佳鼎實(shí)驗(yàn)室,坐落于城之向陽(yáng)地——城陽(yáng)。自2011年成立之初,便誓將科技之光照耀四方。
十年的時(shí)間里,公司因擴(kuò)展數(shù)度搬遷,最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì),也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),使我們?cè)谖磥?lái)的發(fā)展中,有底氣的大踏步前進(jìn)。目前,佳鼎實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)形成了一站式服務(wù),不僅有實(shí)驗(yàn)室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷售,更有實(shí)驗(yàn)室的整體交付。做到了初時(shí)毛坯,再見(jiàn)時(shí)嚴(yán)謹(jǐn)整潔,隨時(shí)可以為人類健康貢獻(xiàn)自己的力量。
產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè),從科研機(jī)構(gòu)到環(huán)境、食品,從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國(guó)內(nèi),放眼,我們聯(lián)合了包括美國(guó)賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國(guó)實(shí)驗(yàn)室,并且積累了大量的科研資料,在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)信以質(zhì)量為生命,以客戶為中心的經(jīng)營(yíng)理念,為打造實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

SAMCO二手現(xiàn)貨ICP刻蝕機(jī)RIE-400iP是用于?4"晶圓的負(fù)載鎖定型蝕刻系統(tǒng),可對(duì)各種半導(dǎo)體和絕緣膜進(jìn)行高精度、高均勻性加工
SAMCO二手現(xiàn)貨ICP刻蝕機(jī)RIE-400iP 產(chǎn)品信息

SAMCO二手現(xiàn)貨ICP刻蝕機(jī)RIE-400iP是用于?4 "晶圓的負(fù)載鎖定型蝕刻系統(tǒng),可對(duì)各種半導(dǎo)體和絕緣膜進(jìn)行高精度、高均勻性加工。采用的龍卷風(fēng)線圈的電感耦合等離子體(Inductively Coupled Plasma)作為放電形式,可產(chǎn)生均勻、高密度的等離子體。另外,可以根據(jù)加工材料和加工內(nèi)容選擇合適的等離子體源。

主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

新的ICP源 "HSTC™: Hyper Symmetrical Tornado Coil"

可高效穩(wěn)定地應(yīng)用高射頻功率(2千瓦以上),并實(shí)現(xiàn)良好的均勻性。

大流量排氣系統(tǒng)

排氣系統(tǒng)直接連接到反應(yīng)室,可以實(shí)現(xiàn)從小流量和低壓范圍到大流量和高壓范圍的廣泛工藝窗口。

端點(diǎn)監(jiān)測(cè)

干涉法和發(fā)射光譜終點(diǎn)監(jiān)測(cè)儀可用于目標(biāo)薄膜厚度的終點(diǎn)檢測(cè)。

易于維護(hù)的設(shè)計(jì)

TMP(渦輪分子泵)已集成在一個(gè)單元中,便于更換。

應(yīng)用

GaN、GaAs、InP等化合物半導(dǎo)體的高精度蝕刻。生產(chǎn)半導(dǎo)體激光器和光子晶體。

選項(xiàng)

干涉式端點(diǎn)監(jiān)測(cè)器 可進(jìn)行高精度的端點(diǎn)檢測(cè),并可將蝕刻深度控制在所需深度。

SAMCO二手現(xiàn)貨ICP刻蝕機(jī)RIE-400iPSAMCO二手現(xiàn)貨ICP刻蝕機(jī)RIE-400iPSAMCO二手現(xiàn)貨ICP刻蝕機(jī)RIE-400iP

關(guān)鍵詞:刻蝕機(jī)
15700106413
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