掃描電鏡是一種用途廣泛的科學(xué)研究儀器,是通過電子束來成像的,，其放大倍數(shù)可達(dá)幾十萬倍，分辨率可達(dá)納米級別，是形貌和成分分析領(lǐng)域極其重要的一種工具。
掃描電鏡測試原理:
掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉(zhuǎn)換成圖像信息，可對陶瓷、金屬、粉末、塑料等樣品進(jìn)行形貌觀察和成分分析。
掃描電鏡測試項目：
SEM：形貌觀察，利用背散射電子（BEI）和二次電子（SEI）來成像，可放大倍率5-100萬倍 。
EDS：成分分析（半定量），通過特征X-RAY獲取樣品表面的成分信息，測量Be及以上元素。
樣品要求：
1.試樣為不同大小的固體（塊狀、薄膜、顆粒），并可在真空中直接進(jìn)行觀察。
2.試樣應(yīng)具有良好的導(dǎo)電性能，不導(dǎo)電的試樣，其表面一般需要蒸涂一層金屬導(dǎo)電膜
掃描電鏡的運用：
掃描電鏡相關(guān)測試常和切片技術(shù)結(jié)合一起做相關(guān)測試,如:
IMC觀察
錫須觀察
表面成分分析
表面異物分析
顆粒物成分分析
微觀尺寸量測
金屬鍍層/涂層厚度檢測
