日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置，用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標準)。
日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介：
HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在須對流量進行準確計測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微電子加工制造業(yè)等。
提供多氣體，多量程的解決方案，是銷量很多的氣體質(zhì)量流量控制器。高精度，快速響應(yīng)，輕巧的尺寸。全金屬密封，橡膠密封
適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，低成本：產(chǎn)品系列中有力求具有成本優(yōu)勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60
用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標準)
日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域：
化工/石化/石油/天然氣
醫(yī)藥/生命科學(xué)
食品飲料
LED FPD
冶金
電力能源及水處理
造紙
環(huán)境保護及控制
汽車
半導(dǎo)體/光伏
微電子
EPC及系統(tǒng)集成商
日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
型號SEC- (質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質(zhì)量流量計)E40E50
適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | |
氣體接觸部材質(zhì) | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 | |
閥門型號 | 非通電時 關(guān)閉 | |
標準流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM |
流量控制范圍 | 2?99% F.S. | |
流量測量范圍 | 0?99% F.S. | |
響應(yīng)速度 | 1秒以內(nèi)(T98) | |
流量精度 | ±1% F.S. | |
直線性 | ±0.5% F.S. | |
反復(fù)性 | ±0.2% F.S. | |
工作差壓值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | |
使用壓力 | 300kPa(G)以下 | |
耐 壓 | 1MPa(G)以下 | |
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | |
使用環(huán)境溫度 | 5?50℃(精度的確保：15?35℃) | |
流量設(shè)定信號 | 0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S. | |
流量輸出信號 | 0?5VDC(很小負荷電阻2kΩ) | |
驅(qū)動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
標準接頭*2 | 1/4SWL 類型 | |
