典型的系統(tǒng)配置包括:
- 放大倍數(shù)為5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物鏡
- 1/3英寸CCD相機(jī); 0.5倍耦合鏡
- 自動Z軸,30毫米驅(qū)動范圍
- 自動XY載物臺,200毫米x 200毫米驅(qū)動范圍
- 具有3GB內(nèi)存和320GB硬盤的電腦,24英寸顯示器,以及澤塔三維功能軟件
三維表面瀏覽 :
傾斜,旋轉(zhuǎn),縮放,濾波
體積計(jì)算
二維表面分析 :
特征尺寸,直徑,面積
圖案間距,標(biāo)準(zhǔn)偏差
表面粗糙度
區(qū)域平均臺階高度
輪廓測量(輪廓儀)
臺階高度(臺階儀)
粗糙度參數(shù)(粗糙度測量)
多橫截面分析
平均值測量標(biāo)尺
點(diǎn)對點(diǎn)測量標(biāo)記
傾斜度和表面波度補(bǔ)償
陣列式采樣序列
自動數(shù)據(jù)與圖像輸出用于生產(chǎn)線SPC
應(yīng)用:精密測量
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三維成像 樣品的真實(shí)顏色和形狀如何? 獲取一幅測試樣品表面的全真彩色三維圖像往往是解決問題的*步,它對做決定具有參考價值。 | 尺寸 寬度與高度有多少? 對在顯微鏡下才看得到的零件,只要在我們的儀器上做一次掃描即可準(zhǔn)確地測出諸如橫向尺寸、臺階高度、斜面傾角等參數(shù)。 | 三維精密測量 表面狀況如何? 我們依據(jù)數(shù)以百萬計(jì)的數(shù)據(jù)點(diǎn)計(jì)算出來的二維和三維粗糙度參數(shù),當(dāng)然會比其它儀器用只掃一條線或只掃一個狹小視場所獲得的數(shù)據(jù)來得精確。 | 薄膜厚度檢測 表面上還有別的東西嗎? 單層或多層薄膜可用我們的分光光度計(jì)(選項(xiàng))來測量。這樣,用戶可以同時對表面形貌和長在表面上的薄膜進(jìn)行研究。 |
顯微鏡 三維顯微鏡 測量顯微鏡 光學(xué)顯微鏡 三維測量顯微鏡 三維精密測量 薄膜厚度檢測 精密臺階檢測 三維成像顯微鏡 輪廓儀 臺階儀