出色的重復性和再現(xiàn)性
(1)單拱龍門式設計，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性優(yōu)異，大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。；
(2)線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um 量程下可達0.01 埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。;
超微力恒力傳感器：1-50mg可調(diào)
的傳感器設計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào)，以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。
超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導軌，杜絕運動中的細微抖動，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌。
全自動XY載物臺，Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺
精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺，可以對樣品的位置以及角度進行調(diào)節(jié)，三維位置均可以調(diào)節(jié)，利于樣品調(diào)整，提高測量效率。
