共聚焦顯微鏡利用照明點(diǎn)與探測(cè)點(diǎn)共軛特性,可有效抑制同一焦點(diǎn)平面上非測(cè)量點(diǎn)的雜散熒光及來(lái)自樣品中非焦平面的熒光,從而獲得普通光鏡無(wú)法達(dá)到的分辨率。
中圖儀器VT60003D激光共聚焦測(cè)量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。
技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | VT6100 | |
行程范圍 | X | 100mm |
Y | 100mm | |
Z | 100mm | |
外形尺寸 | 520*380*600mm | |
儀器重量 | 50kg | |
測(cè)量原理 | 共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |
顯微物鏡 | 10×;20×;50×;100× | |
視場(chǎng)范圍 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
高度測(cè)量 | 重復(fù)性(1σ) | 12nm |
精度 | ± (0.2+L/100) μm | |
顯示分辨率 | 0.5nm | |
寬度測(cè)量 | 重復(fù)性(1σ) | 40nm |
精度 | ± 2% | |
顯示分辨率 | 1nm | |
XY位移平臺(tái) | 負(fù)載 | 10kg |
控制方式 | 電動(dòng) | |
Z0軸掃描范圍 | 10mm | |
物鏡塔臺(tái) | 5孔電動(dòng) | |
光源 | 白光LED |
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;
2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量;
3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能;
4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;
應(yīng)用領(lǐng)域
VT60003D激光共聚焦測(cè)量顯微鏡對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
標(biāo)準(zhǔn)配置:
1)VT6000主機(jī)
2)50×物鏡
3)XY位移載物臺(tái):自動(dòng)位移臺(tái)
4)5孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)
5)品牌計(jì)算機(jī)
6)操縱手柄
7)中圖VT6000共聚焦顯微鏡軟件
8)儀器配件箱
9)單刻線臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)塊、超光滑硅標(biāo)準(zhǔn)塊
10)產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)
11)產(chǎn)品合格證、保修卡
可選配置:
1)測(cè)量物鏡(奧林巴斯):10×、20×、100×
2)載物臺(tái):6寸晶圓吸附平臺(tái)、8寸晶圓吸附平臺(tái)
3)整機(jī)校準(zhǔn)證書(shū)