SMX-ILH的熱屏蔽技術可使熱基板在高達300?C下實時進行X射線熒光數據采集，減少面板的停留時間，提高加工能力。由于采用一個專門設計的Z軸高度調節(jié)功能裝置，該系統(tǒng)能夠適應大型面板中經常出現的平面性差異（弓起和卷曲）等問題，從而進一步提高了測量精度和結果，尤其是在較高的溫度下。
- 成分和層厚分析
- 材料選擇，薄層配方
- 在線及離線過程控制
- 良率管理
應用領域：
- 光伏制造過程
- 微電子制造
- 防腐蝕涂層
- 熱障涂層
- 能源（CIGS， CIS，電池）
深圳海創(chuàng)德科技有限公司成立于2012年，由數位理工科博士創(chuàng)辦，團隊成員均為理工科博士和碩士，具有高水平的專業(yè)水準。公司致力于半導體微加工及分析設備的銷售和安裝服務，產品覆蓋薄膜制備，物性測量和表面分析。經營的主要產品如下：1. 磁控濺射、電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)、PECVD、LPCVD、ALD、RIE、ICP、RTP、涂膠機和熱板等薄膜技術相關的設備；2. 美國Kimball Physics的電子槍、離子槍、真空腔體和熒光屏等部件；美國OCI的LEED和AES等各種真空組件；美國MicroXact的真空、低溫和磁場等數種探針臺；3. 我們還提供上述設備的配套部件及耗材，如直流和射頻電源、靶材、探針、光刻膠和ALD耗材等。我們的產品性價比高，品質精良，性能*，在歐美及中國臺灣地區(qū)具有的口碑，國內眾多的科研院所和大學均對我們的產品報以好評。我們期待以優(yōu)質的產品，良好的服務和專業(yè)的技術為更多的客戶提供解決方案！期待與您的合作！
