1.1 設備名稱：在線式真空等離子清洗機
1.2 式號：VPC3i
1.3 原產(chǎn)地(國別、廠家)：北京中科中科同志股份有限公司
1.4 交貨期：合同生效后4-8周
1.5 主要用于硅晶圓、玻璃基板、陶瓷基板、IC載板、銅引線框架、大尺寸單面基板電源板、IGBT模塊、帶治具的MEMS傳感器、微波器件、濾波器、射頻器件等半導體封裝領(lǐng)域的等離子表面處理工藝。
二、設備主要技術(shù)性能指標：
2.1 真空腔體體積：3L
2.2 真空度：
VPC3i真空等離子清洗機真空度小于10 Pa（機械干泵 8L）
2.3 有效清洗面積：
單次清洗面積：350*100*85mm
等離子體頻率：13.56HZ 300W 射頻（體積處理，帶水冷）
2.4 真空腔室高度：
爐膛高度100mm（有效尺寸）
2.5 清洗溫度：
低溫清洗（低于室溫）。
2.6 清洗節(jié)拍:30-120S
2.7 清洗效果:達因值可達到70.水滴角15度，可控制到10以內(nèi)（百級無塵4小時以內(nèi)）
2.8 氣體環(huán)境：
氬氣、氮氣、氧氣、氮氫混合氣體、氫氣、甲酸都支持。
2.9 VPC3i真空等離子清洗機配置軟件控制系統(tǒng)：
軟件控制系統(tǒng)，操作簡單，能接控制設備及設定各種清洗工藝曲線，并根據(jù)工藝不同進行設定、修改、存儲、調(diào)用；軟件自帶分析功能，能對工藝曲線進行分析。軟件控制系統(tǒng)自動的實時記錄清洗工藝及溫度曲線、時間、報警相關(guān)數(shù)據(jù)，保證產(chǎn)品清洗工藝的可追溯性。
2.10 設備無需校正，不會產(chǎn)生多余的校證費用
2.11 操作功耗：2.2KW，不含冷水機功耗
2.12 具有超溫報警及記錄功能。（標配）
VPC3i真空等離子清洗機具有清洗過程工件表面超溫保護及報警功能、整機溫度安全保護功能及記錄功能。
2.13 具有氮氣、氬氣等流量管理及分析系統(tǒng)（軟件+硬件）。（選配）
VPC3i真空等離子清洗機具有整機消耗氮氣、氬氣等工藝氣體的實時管理及分析功能，可以實時分析氣體使用量、日使用量、周使用量、時間段使用量等記錄和分析功能。
2.14 具有工藝氣體壓力報警功能和分析系統(tǒng)（軟件+硬件）。（選配）
VPC3i式真空等離子清洗機具有整機生產(chǎn)過程中工藝氣體氣源欠壓報警及記錄和分析功能，對產(chǎn)品質(zhì)量追溯超有用。
2.15 具有能源管理及分析系統(tǒng)（軟件+硬件）。（選配）
VPC3i式真空等離子清洗機具有能源消耗實時管理及分析功能，可以分析實時耗電量、日耗電量、周耗電量、時間段耗電量等記錄和分析功能。
2.16 具有氧含量管理及分析系統(tǒng)（軟件+硬件）。（選配）
VPC3i式真空等離子清洗機具有整機真空室內(nèi)氧氣含量實時管理及分析功能，可以實時分析氧含量PPM值并記錄和分析，用于產(chǎn)品質(zhì)量追溯和分析。
2.17 具有MES數(shù)據(jù)接口子系統(tǒng)（軟件+硬件）。（選配）
VPC3i式真空等離子清洗機具有整機MES數(shù)據(jù)接口功能，可以選配并配置MES系統(tǒng)，完成智能設備的各種數(shù)據(jù)采集及分析。
2.18 設備外形尺寸：
550*1260*1480mm（不包括警燈）
2.19 設備內(nèi)部結(jié)構(gòu)：見右圖
三、設備基本構(gòu)成和配置：
| 編號 | 名稱 | 配置 | 數(shù)量 |
| 1 | 真空等離子清洗機 | 主機 | 1臺 |
| 2 | 等離子體電源系統(tǒng) | 標配 | 1套 |
| 3 | 測溫系統(tǒng) | 標配（4組測溫熱電偶） | 1套 |
| 4 | 真空系統(tǒng) | 標配 | 1套 |
| 5 | 機械泵 | 標配 | 1套 |
| 6 | 水冷系統(tǒng) | 標配（不含工業(yè)水冷機） | 1套 |
| 7 | 工業(yè)冷水機 | 選配 | 1套 |
| 8 | 甲酸工藝系統(tǒng) | 標配（甲酸罐體、氣路管道及接口） | 1套 |
| 9 | 氮氣氣氛保護系統(tǒng) | 標配（不包括氮氣氣源供應） | 1套 |
| 10 | 真空等離子清洗機軟件系統(tǒng) | 標配(控制軟件) | 1套 |
| 11 | 工業(yè)計算機 | 標配 | 1套 |
| 12 | 等離子體 | 標配 | 1支 |
| 13 | 測溫傳感器（備件） | 標配 | 2根 |
| 14 | 冷卻氣管（備件） | 標配 | 2根 |
| 15 | 工藝氣體流量管理及分析系統(tǒng) | 選配 | 1套 |
| 16 | 工藝氣體壓力報警功能和分析系統(tǒng) | 選配 | 1套 |
| 17 | 能源管理及分析系統(tǒng) | 選配 | 1套 |
| 18 | 氧含量管理及分析系統(tǒng) | 選配 | 1套 |
| 19 | MES數(shù)據(jù)接口系統(tǒng) | 選配 |
四、VPC3i技術(shù)參數(shù)表
| 品 牌 | 設備廠商 | 北京中科中科同志股份有限公司 TORCH | 備注 |
| 簡 介 | 產(chǎn) 地 | 北 京 | |
| 關(guān)鍵配件 | 溫度傳感器 | 美國歐米伽 | |
| 真空泵 | 科儀/鮑絲 | ||
| 截止閥 | 日本進口 | ||
| 耐蝕閥 | 日本進口 | ||
| 低壓電器 | 法國施耐德 | ||
| 按鈕開關(guān) | 中國臺灣久晨/法國施耐德 | ||
| 光電傳感器 | 日本歐姆龍 | ||
| 等離子體電源 | TORCH | ||
| 關(guān)鍵技術(shù)指標 | 溫度參數(shù) | 低溫清洗，保持在室溫清洗 | |
| 真空度 | 10pa | ||
| 氧含量 | <1ppm | ||
| 生產(chǎn)效率 | 20-120S | ||
| 工藝關(guān)鍵指標 | 質(zhì)量追溯 | 1、工藝氣體壓力報警記錄。2、氧含量報警記錄。3、溫度超溫報警記錄。4、真空值不達標報警記錄 | |
| 設備智能化信息化 | 1、設備具備智能化功能，以上四項指標有一項不達標或者報警，設備就整體報警，并提示停止生產(chǎn)。確保產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量。2、設備具備能源管理系統(tǒng)，耗電量和消耗氮氣的量，在能源管理系統(tǒng)實時統(tǒng)計并顯示。3、以上所有信息都可以通過設備數(shù)據(jù)接口無縫對接MES系統(tǒng)，方便管理人員決策管理。 | ||
| 廠務條件 | 電 | 380VAC，20A | |
| 氣 | 壓縮空氣（CDA）0.5Mpa | ||
| 氮氣 | 0.5Mpa | ||
| 真空 | 設備配置真空干泵 |
