otsukael 高靈敏度示差折光儀 鎢絲燈 光源DRM-3000的介紹
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通過注射器方法可以很容易地進(jìn)行樣品注入。
數(shù)據(jù)處理很容易,因為控制和數(shù)據(jù)采集是從個人計算機(jī)進(jìn)行的。
低噪聲、高穩(wěn)定性和可重復(fù)測量是可能的。
通過靜態(tài)光散射測定重均分子量的 dn/dc 測量
表面活性劑等的膠束臨界濃度(c.m.c)測量
高分子吸附量的測定
高分子共聚物的成分分析
脂質(zhì)體相變溫度測量等
除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。 |
可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過可變反射角測量對薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性
橢圓參數(shù)(tanψ,cosΔ)測量
光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析
膜厚分析
半導(dǎo)體ウェーハ
ゲート酸化薄膜,窒化膜
SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散)化合物半導(dǎo)體
AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコンFPD
配向膜各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon),超伝導(dǎo)用薄膜,磁気ヘッド薄膜光學(xué)薄膜
TiO2,SiO2,反射防止膜リソグラフィー分野
g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価
光源 | 鎢絲燈 | |||
探測器 | 光電二極管陣列 | |||
測量波長 | 633 nm(帶干涉濾光片) | |||
樣品池 | 流通池容量 8 μL(注射器法) | |||
溫度范圍 | 10至50°(無結(jié)露) 恒溫水循環(huán)系統(tǒng) | |||
測量范圍 | 0 至 ±4× 10 -3Δn | |||
噪音水平 | 2×10 -7 Δn(25℃,蒸餾水) | |||
基礎(chǔ)穩(wěn)定性 | 2×10 -6 Δn/h(25℃,蒸餾水) | |||
電源 | AC100V±10V, 150VA (最大) | |||
尺寸(WDH) | 260×400×165mm | |||
重量 | 約13公斤 |