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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

otsukael積分光度計(jì)

參考價(jià) 220000
訂貨量 ≥100臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳九州工業(yè)品有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號(hào)SLS-6500HL
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間2023/4/21 16:20:32
  • 訪問次數(shù)3354
在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品 進(jìn)入展商展臺(tái)

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深圳九州工業(yè)品有限公司,坐落于深圳市,是一家工業(yè)品綜合服務(wù)商。主要包括機(jī)電設(shè)備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國(guó)內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營(yíng)進(jìn)出口等業(yè)務(wù)。搭建工業(yè)品供應(yīng)鏈,采用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式,把零散采購訂單集中處理,流程簡(jiǎn)化,提供一站式供應(yīng)服務(wù)。在美國(guó)、德國(guó)、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣建專業(yè)國(guó)際采購團(tuán)隊(duì)、技術(shù)顧問、銷售團(tuán)隊(duì)為各種領(lǐng)域提供各類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務(wù)。通過與廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國(guó)外生產(chǎn)廠家建立了長(zhǎng)久合作伙伴關(guān)系。










設(shè)備
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn)
otsukael積分光度計(jì)除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。
otsukael積分光度計(jì) 產(chǎn)品信息

otsukael靜態(tài)光散射光度計(jì) 積分光度計(jì)SLS-6500HL的介紹

除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。

特征:
  • 可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量橢圓參數(shù)

  • 能夠分析納米級(jí)多層薄膜的膜厚

  • 通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜

  • 支持通過可變反射角測(cè)量對(duì)薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析

  • 通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊(cè)功能提高可操作性

 

測(cè)量項(xiàng)目
  • 橢圓參數(shù)(tanψ,cosΔ)測(cè)量

  • 光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析

  • 膜厚分析

 

測(cè)量對(duì)象
  • 半導(dǎo)體ウェーハ
    ゲート酸化薄膜,窒化膜
    SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
    レジストの光學(xué)定數(shù)(波長(zhǎng)分散)

  • 化合物半導(dǎo)體
    AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン

  • FPD
    配向膜

  • 各種新素材
    DLC(Diamond Like Carbon),超伝導(dǎo)用薄膜,磁気ヘッド薄膜

  • 光學(xué)薄膜
    TiO2,SiO2,反射防止膜

  • リソグラフィー分野
    g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長(zhǎng)におけるn,k評(píng)価

 

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