otsukael靜態(tài)光散射光度計 積分光度計SLS-6500HL的介紹
除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構(gòu)提高了測量精度。
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可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)
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能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
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通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
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支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
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通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性
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橢圓參數(shù)(tanψ,cosΔ)測量
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光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析
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膜厚分析
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半導(dǎo)體ウェーハ
ゲート酸化薄膜,窒化膜
SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散) -
化合物半導(dǎo)體
AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン -
FPD
配向膜 -
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon),超伝導(dǎo)用薄膜,磁気ヘッド薄膜 -
光學(xué)薄膜
TiO2,SiO2,反射防止膜 -
リソグラフィー分野
g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価