otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的介紹
otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的介紹
OPTM 是一種通過使用顯微鏡光譜測量微小區(qū)域的絕對反射率來實(shí)現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)分析的設(shè)備。
各種薄膜、晶圓、光學(xué)材料等鍍膜、多層膜厚度的無損、非接觸測量?？梢赃M(jìn)行1秒/點(diǎn)的高速測量。此外，它配備了軟件，即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學(xué)常數(shù)。。
特征
膜厚測量所需的功能集成在測量頭中
使用顯微光譜法進(jìn)行高精度絕對反射率測量（多層膜厚度、光學(xué)常數(shù)）
每點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測量
實(shí)現(xiàn)顯微鏡下寬測量波長范圍（紫外到近紅外）的光學(xué)系統(tǒng)
區(qū)域傳感器安全機(jī)制
一個簡單的分析向?qū)?，即使是初次使用的用戶也可以進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
配備可自定義測量順序的宏功能
也可以分析復(fù)雜的光學(xué)常數(shù)（多點(diǎn)分析法）
300mm載物臺兼容
能夠從低亮度到高亮度進(jìn)行高速、高精度測量的光譜輻射亮度計。
使用電子冷卻線性陣列傳感器，的光譜設(shè)計和信號處理電路在寬亮度范圍和波長范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了低噪聲、高精度測量。
特征
- 采用亮度和色度精度高的分光法（衍射光柵）
- 能夠測量從0.005cd/m2的超低亮度到400,000cd/ m2的高亮度
- 支持 CIE 推薦的寬波長范圍（355nm 至 835nm）
- 專有光學(xué)系統(tǒng)減少了偏光誤差 (<1%)，
可以高精度測量具有偏光特性的樣品，例如 LCD。 - 包括通信時間在內(nèi)，僅需 1 秒即可進(jìn)行高速測量。
（在連續(xù)測量的情況下，最小為 20 毫秒/次，甚至可以更快地測量。） - 無需改變測量角度即可支持寬亮度范圍。（0.005cd/m 2至 4,000cd/m 2
在2°的測量角度） - 可以對頻率照明光源進(jìn)行高精度和穩(wěn)定的測量。
測量項目
| - 輻射 (W/sr/m 2 ) | - 色域（NTSC 比例）*1 |
| - 亮度 (cd/ m2 ) | - 反應(yīng)速度*2 |
| - 色度坐標(biāo) xy [符合JIS Z8724 ] | - 亮度 (J) *3 |
| - 色度坐標(biāo) U'V' [符合JIS Z8781-5 ] | - 亮度 (Q) *3 |
| - 相關(guān)色溫 | - 飽和度 (s) *3 |
| - CIE 顏色系統(tǒng) 2°/10° | - 色度 (C) *3 |
| - 三刺激值 XYZ | - 色彩度（M）*3 |
| - 偏差 | - 等效亮度值*4 |
| - 光譜數(shù)據(jù)的四種算術(shù)運(yùn)算 | |
| - 光譜數(shù)據(jù)的功能處理 |
應(yīng)用
LCD、PDP、有機(jī)EL、大尺寸LED視覺等顯示器件的
光譜數(shù)據(jù)、亮度、色度、相關(guān)色溫測量照明光源（如燈）的光譜數(shù)據(jù)、亮度、色度和相關(guān)色溫的測量
作為各種亮度和色度測量儀器的標(biāo)準(zhǔn)
物體的非接觸式顏色測量
