SRDE氣體質(zhì)量流量控制器概要:
氣體質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測通??煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測定時(shí),必須對溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測量。在必須對流量進(jìn)行精確計(jì)測和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。