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ulvac-kiko多級羅茨型干泵真空泵干泵

參考價	￥ 980000
訂貨量	≥1000臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱深圳九州工業(yè)品有限公司
品牌其他品牌
型號ES4A/ES10
所在地深圳市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2023/4/11 13:23:23
訪問次數(shù)714

產(chǎn)品標(biāo)簽:

真空泵螺桿型干泵繼電器儀器簡易設(shè)定

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公司介紹主營產(chǎn)品

深圳九州工業(yè)品有限公司，坐落于深圳市，是一家工業(yè)品綜合服務(wù)商。主要包括機電設(shè)備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營進出口等業(yè)務(wù)。搭建工業(yè)品供應(yīng)鏈，采用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式，把零散采購訂單集中處理，流程簡化，提供一站式供應(yīng)服務(wù)。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建專業(yè)國際采購團隊、技術(shù)顧問、銷售團隊為各種領(lǐng)域提供各類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務(wù)。通過與廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國外生產(chǎn)廠家建立了長久合作伙伴關(guān)系。

展開顯示更多內(nèi)容

設(shè)備

產(chǎn)品簡介在線詢價

材質(zhì)	其他	驅(qū)動方式	其他

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。
ulvac-kiko多級羅茨型干泵真空泵干泵ES4A/ES10

ulvac-kiko多級羅茨型干泵真空泵干泵產(chǎn)品信息

ulvac-kiko多級羅茨型干泵真空泵干泵ES4A/ES10

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點

高溫區(qū)域均熱化
實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

型號		UR421-T	UR600	UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用泵	干式真空泵	UR421-T	UR90	UR90	UR180	UR421-T
	機械增壓泵	-	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C-T
最大排氣速度	50Hz	410 m³/h (6833 L/min)	653 m³/h (10883 L/min)	1012 m³/h (16867 L/min)	1701 m³/h (28350 L/min)	2700 m³/h (45000 L/min)
到達壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG100	VG80(NW80)	VG100(NW100)	VG150(NW100)	VG150
排氣口		VG50	NW40			NW50
質(zhì)量		415 kg	370 kg	403 kg	553 kg	720 kg
電源 *2	三相	180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)	200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)			180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時	23 A(at 200V)	16.4 A(at 200V)	18.9 A(at 200V)	29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)	39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	最大值	52.5 A(at 200V)	17.3 A(at 200V)	22. 4 A(at 200V)	34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)	68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力		0.2~0.5 Mpa	0.1~0.3 Mpa			0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差		>0.2 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.2 Mpa
冷卻水流量		>5.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 Mpa
	二次壓力	0.05~0.1 Mpa
N2吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~195 SLM	0~45 SLM		0~195 SLM	0~195 SLM