shinko-seiki升空工藝蒸發(fā)設(shè)備 沉積設(shè)備 蒸發(fā)顆粒設(shè)備AAMF-C1650SBR
shinko-seiki升空工藝蒸發(fā)設(shè)備 沉積設(shè)備 蒸發(fā)顆粒設(shè)備AAMF-C1650SBR
剝離工藝專用氣相沉積設(shè)備，其應(yīng)用范圍正在擴(kuò)大。
蒸發(fā)顆粒的高垂直度和基板水冷機(jī)制的采用保護(hù)了抗蝕劑并保持了精細(xì)的圖案。
這是一種恒溫皮拉尼真空計，利用燈絲絲在真空中因壓力波動而產(chǎn)生的溫度變化。該模型以其準(zhǔn)確性和易用性而著稱。有面板型和便攜型。
【常用規(guī)格】
?液壓油為Neovac SX（SH-704）或Lion A
?液壓油為DC-705時，極限壓力為4×10 -6
Pa，功率 增加20%~ 45%
?油蒸汽回流為7×10 -7至2×10 -8 g/min?cm 2以下
[特點(diǎn)]
?優(yōu)秀的排氣特性。
?操作簡單，維護(hù)方便。
·長壽。
?小型、低振動。
?可以獲得干凈的真空。
- 使用安全的臥式。
【選擇后級泵時】
機(jī)械增壓泵不是可以壓縮排氣到大氣壓的泵。性能還取決于下游泵的型號和性能。因此，在配置使用機(jī)械增壓泵的排氣系統(tǒng)時，需要針對所需用途選擇最合適的后級泵。
?選擇排氣量為1/2～1/10的泵。
連續(xù)工作壓力較高時
選用大容量泵，連續(xù)工作壓力較低時選用小容量泵。
?利用油旋泵和水環(huán)泵的性能特點(diǎn)，在高真空運(yùn)行時采用油旋泵作為后級泵，在低真空抽大量可凝性氣體時采用水泵。真空
，請選擇密封泵。
【結(jié)構(gòu)】
兩個平衡的繭形轉(zhuǎn)子固定在兩個平行軸上，由電動機(jī)驅(qū)動。
隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，從進(jìn)氣口進(jìn)入的氣體被限制在機(jī)殼與轉(zhuǎn)子之間的空間內(nèi)，并
通過排氣口不斷排出，有效地形成真空。?主要材質(zhì)為鋁等，實現(xiàn)了輕量化。
? 采用磁力聯(lián)軸器，可在大氣壓下運(yùn)行，排氣時間可縮短約50%。(DM型)
SMB-C06M型采用磁力耦合器，可從大氣壓驅(qū)動。
【結(jié)構(gòu)】
兩個平衡的繭形轉(zhuǎn)子固定在兩個平行軸上，由電動機(jī)驅(qū)動。
隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，從進(jìn)氣口進(jìn)入的氣體被限制在機(jī)殼與轉(zhuǎn)子之間的空間內(nèi)，并
通過排氣口不斷排出，有效地形成真空。?主要材質(zhì)為鋁等，實現(xiàn)了輕量化。
? 采用磁力聯(lián)軸器，可在大氣壓下運(yùn)行，排氣時間可縮短約50%。(DM型)
SMB-C06M型采用磁力耦合器，可從大氣壓驅(qū)動。
