薄膜的制造離不開(kāi)真空鍍膜設(shè)備，真空鍍膜設(shè)備包括簡(jiǎn)單或復(fù)合的薄膜，例如晶體金屬，半導(dǎo)體和絕緣體。盡管化學(xué)氣相沉積還使用諸如減壓，低壓或等離子的真空方法，但是真空涂覆通常是指沉積薄膜的物理方法。真空鍍膜有三種形式，即蒸發(fā)鍍膜，濺射鍍膜和離子鍍。真空鍍膜的多功能性也決定了其廣泛的應(yīng)用范圍。通常，真空鍍膜的主要功能包括賦予被鍍部件的表面高度的金屬光澤和鏡面效果，使膜在膜材料上具有優(yōu)異的阻隔性能以及提供優(yōu)異的電磁屏蔽和導(dǎo)電效果。
真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的重要方面。它基于真空技術(shù)，采用物理或化學(xué)方法，吸收了一系列新技術(shù)，例如電子束，分子束，離子束，等離子束，射頻和磁控管?？茖W(xué)研究和實(shí)際生產(chǎn)為薄膜制備提供了新的過(guò)程。簡(jiǎn)而言之，將金屬，合金或化合物在真空中蒸發(fā)或?yàn)R射以使其固化在被涂覆的物體（稱(chēng)為基底，基底）上，沉積方法稱(chēng)為真空涂覆。
僅從膜厚測(cè)試來(lái)看，真空鍍膜和光學(xué)鍍膜之間存在以下差異：1.真空鍍膜：通常為T(mén)iN，CrN，TiC，ZrN，電鍍厚度約為3-5微米。通常，真空鍍膜的厚度無(wú)法在設(shè)備上測(cè)試； 2.光學(xué)涂層的厚度測(cè)試可以通過(guò)在涂層機(jī)頂部安裝薄膜厚度測(cè)試儀來(lái)完成。之前是光控制測(cè)試?，F(xiàn)在，通常通過(guò)使用晶體振蕩器的振動(dòng)頻率來(lái)使用晶體控制（晶體振蕩器）來(lái)測(cè)試涂層的厚度。不同的膜層具有不同的厚度。
