派克veriflo部門的F9系列超高壓止回閥提供改進(jìn)的性能和兼容性，具有非對稱彈簧設(shè)計一直安靜的操作和低流量的限制與競爭。F9兩密封材料滿足所有半氣體相容性的要求，降低客戶庫存，滿足更廣泛的應(yīng)用。組裝和封裝在一個類100級潔凈室，F(xiàn)9系列產(chǎn)品是為超高純度半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用設(shè)計的。
市場：
? 半導(dǎo)體晶圓廠
? 天然氣公司
特點/好處：
? 無噪音操作與非對稱彈簧設(shè)計
? 焊接設(shè)計減少足跡
? 100級潔凈室組裝和包裝
? 電解拋光（EP）的超高純度應(yīng)用版本
? vericlean™ 316L不銹鋼電解拋光和腐蝕性能提高
應(yīng)用：
? 閥門歧管箱/板
? 煤氣柜
? 氣棒
? 工具掛鉤
性能特點：
| 閥體材料 | 非常清潔的316L不銹鋼材質(zhì) | |
| 彈簧材料 | 非磁性合金，當(dāng)量 | |
| 密封材料 | 氟碳彈性體（氟橡膠） 全氟彈性體（全氟橡膠） | |
| 提升閥的材料 | 316L 不銹鋼 | |
| 停止限幅材料 | 316 不銹鋼 | |
| 流體容量(Cv) | Cv值0.45 (X 0.89) (1/4" 短管) - Cv值0.90 (X 0.78) (1/4" & 1/2" 面密封) - Cv值0.90 (X 0.78) (3/8" & 1/2" 短管) | |
| 內(nèi)部泄漏率 | 氣密 | |
| 外部泄漏率 | 外部泄漏率為 1 x 10-9 scc/sec（內(nèi)側(cè)的試驗方法） | |
| 表面處理（RA) | 省略（10 RA鈍化（STD），黃金標(biāo)簽（EP）7 RA的電解拋光，藍(lán)色的標(biāo)簽） | |
| 內(nèi)部容積（毫升） | 0.14立方英寸（2.29cc)(1/4"端面密封)（外） | |
| 重量（磅） | 0.15（1/4"面密封（外））-0.07（1/4"短管） | |
| 重量（盎司） | 2.4（1/4"面密封（外））-1.2（1/4"短管） | |
| 入口壓力（psig) | 3000 psig（ 氟碳彈性體，氟橡膠）- 1000 psig（全氟，全氟橡膠） | |
| 入口壓力（barg) | 260公斤（氟碳，氟橡膠）-68公斤（ 全氟彈性體 ，全氟橡膠） | |
| 背壓（psig) | 3000 psig（ 氟碳彈性體，氟橡膠）- 1000 psig（全氟，全氟橡膠） | |
| 背壓（barg) | 260公斤（氟碳，氟橡膠）-68公斤（ 全氟彈性體 ，全氟橡膠） | |
| 開啟壓力(bar) | 0.13 | |
| 開啟壓力(psi) | 2 | |
| 復(fù)位壓力(psig) | ≤ 2 | |
| 復(fù)位壓力(barg) | ≤ 0.13 | |
| 工作油溫（C) | 66°C | |
| 工作油溫（F) | 150°F | |
| 工作油溫（C) | -23°C | |
| 最小工作溫度（F) | -10°F |
