NE-PE10是一款小型真空等離子體表面處理儀，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。裝置的運(yùn)行過(guò)程如下：將要被清洗的工件送人真空室并加以固定，啟動(dòng)運(yùn)行裝.置，開(kāi)始排氣使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn).真空度。向真空室內(nèi)引入等離子清洗用的氣體并使其壓力保持在100Pao根據(jù)清洗的材質(zhì)不同可分別選用氧氣、氫氣、氯氣1或氮?dú)獾葰怏w。在真空室內(nèi)電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿并通過(guò)輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生出等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體把被處理工件籠罩住并開(kāi)始清洗，一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。清洗完畢后切斷高頻電壓并將氣體及氣化的污垢排出,同時(shí)向真空室內(nèi)鼓人空氣并將氣壓升至--一個(gè)大氣壓。
NE-PE10等離子體表面處理儀功能特點(diǎn)：
?耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置
?雙層托盤設(shè)計(jì)，可調(diào)節(jié)托盤間距
?8K 鏡面不銹鋼腔體，密封性
?可支持 13.56 MHz 射頻發(fā)生器，與網(wǎng)絡(luò)自動(dòng)匹配(只對(duì)真空泵在系統(tǒng)外部)
?直觀的觸摸屏，過(guò)程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控。
?方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過(guò)程中使用的要求
?支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
?通過(guò)聯(lián)鎖門或可移動(dòng)的板
?兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的電子質(zhì)量流量控制器的氣體控制，有兩個(gè)額外控制器的選擇 ( 4 個(gè))
等離子體表面處理儀產(chǎn)品參數(shù)：
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 型號(hào)規(guī)格 | 參數(shù) |
| 1 | 等離子發(fā)生器 | 功率 | 0-300W可調(diào) |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動(dòng)阻抗匹配，遠(yuǎn)程通信控制 | ||
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 2 | 真空反應(yīng)腔室 | 腔體材質(zhì) | 進(jìn)口 316 不銹鋼，級(jí)密封 |
| 腔體容積 | 10L | ||
| 電極數(shù)量 | 2個(gè)鍍金鋁合金專用電極 | ||
| 電極間距 | 50mm | ||
| 3 | 氣路控制 | 氣體流量控制器 | 浮子針閥流量控制器， 0-500ML |
| 氣路數(shù)量 | 最小 2 路氣體，支持氧氣，氬氣，氮 氣，氫氣，四氟化碳等 | ||
| 4 | 放電電極架 | 內(nèi)置水平式電極 | 200（W）×200（D）mm |
| 載物托盤 | L*W :200（W）×200（D）mm | ||
| 5 | 整機(jī)參數(shù) | 整機(jī)功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 長(zhǎng)*寬*高 ： 550mm(L)×550mm(W) ×650 mm(H) |
產(chǎn)品應(yīng)用：
