NE-PE05是一款小型真空等離子體表面處理儀，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打 樣。設(shè)備采用進(jìn)口品牌高性能旋片真空泵快速產(chǎn)生一個(gè)小于 1-2 Pa 的真空壓強(qiáng)，同時(shí)根據(jù)客戶工 藝要求，對(duì)真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體，采用進(jìn)口高品質(zhì)等離子發(fā)生器，使得通入 的工藝氣體產(chǎn)生等離子體，并 確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度，高能量 的離子。等離子體與材料發(fā)生 復(fù)雜的物理，化學(xué)反應(yīng)，可以 實(shí)現(xiàn)不同的工藝功能，比如清 洗，活化，刻蝕與涂敷等。等 離子態(tài)顯著的特點(diǎn)是高均勻性 輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出 從藍(lán)色到深紫色的色彩可見(jiàn)光。
等離子體表面處理儀功能特點(diǎn)：
?耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置
?雙層托盤設(shè)計(jì)，可調(diào)節(jié)托盤間距
?8K 鏡面不銹鋼腔體，密封性
?可支持 13.56 MHz 射頻發(fā)生器，與網(wǎng)絡(luò)自動(dòng)匹配(只對(duì)真空泵在系統(tǒng)外部)
?直觀的觸摸屏，過(guò)程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控。
?方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過(guò)程中使用的要求
?支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
?通過(guò)聯(lián)鎖門或可移動(dòng)的板
?兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的電子質(zhì)量流量控制器的氣體控制，有兩個(gè)額外控制器的選擇 ( 4 個(gè))
等離子體表面處理儀產(chǎn)品參數(shù)：
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 型號(hào)規(guī)格 | 參數(shù) |
| 1 | 等離子發(fā)生器 | 功率 | 0-300W可調(diào) |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動(dòng)阻抗匹配，遠(yuǎn)程通信控制 | ||
| 頻率 | 40KHz | ||
| 2 | 真空反應(yīng)腔室 | 腔體材質(zhì) | 進(jìn)口 316 不銹鋼，級(jí)密封 |
| 腔體容積 | 5L | ||
| 電極數(shù)量 | 1 個(gè)鍍金鋁合金專用電極+1 個(gè)不銹鋼 托盤 | ||
| 腔體直徑（圓形） | 150（W）×280（D）mm | ||
| 有效處理范圍 | 130（W）*245(D)mm | ||
| 絕緣陶瓷 | 進(jìn)口高頻陶瓷 | ||
| 3 | 氣路控制 | 氣體流量控制器 | 浮子針閥流量控制器， 0-500ML |
| 氣路數(shù)量 | 最小 2 路氣體，支持氧氣，氬氣，氮 氣，氫氣，四氟化碳等 | ||
| 4 | 整機(jī)參數(shù) | 整機(jī)功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 長(zhǎng)*寬*高 ： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) |
等離子體表面處理儀產(chǎn)品應(yīng)用：
