1分辨率:
1.1寬度測量顯示分辨率≤1nm。
1.2高度測量顯示分辨率≤0.8 nm。
2光源要求:
2.1激光部分:采用405nm短波長半導(dǎo)體激光器,安全等級CLASS 2(輸出功率≤1mW)。
2.2可見光部分:長壽命LED光源。
2.3光掃描型觀察裝置:通過對激光的掃描而得到的信號進(jìn)行取樣,將其轉(zhuǎn)換為電信號。
3采用激光雙光路共焦系統(tǒng)。
4放大倍數(shù):110倍——17000倍。
5載物臺要求:
5.1控制方式:電動載物臺。
5.2載物臺行程范圍:X向不小于100mm,Y向不小于100mm。
(大工作臺可定制)
6物鏡要求:
6.1提供不少于5X、10X、20X、50X、100X、20X(超長焦)物鏡共計6顆。
6.2其中20X、50X、100X均為405納米激光LEXT專用平場復(fù)消色差(APO)物鏡。數(shù)值孔徑(N.A.)分別不小于0.60、0.90、0.95。
6.3其中20倍超長焦物鏡工作距離不小于25mm。
7物鏡轉(zhuǎn)換器:5孔電動編碼型物鏡轉(zhuǎn)換器。
8可觀察試樣高度:0—95mm。
9軟件要求:
9.1功能包括:長度、高度、角度、面積、體積測量。其中高度測量根據(jù)相機(jī)上成像的多個位置的分段圖像的像素的亮度信息,求出IZ峰值位置,獲得上述試樣的高度信息,上述IZ峰值位置是根據(jù)表示亮度I和Z軸方向的焦點位置之間的關(guān)系的I-Z特性求出的更大亮度位置。
9.2粗糙度測量功能:軟件操作界面具有單獨粗糙度測量模塊,取樣長度d不低于50mm,測量精度符合國際標(biāo)準(zhǔn)ISO4287。
9.3自動三維拼圖功能。軟件具備操作向?qū)Чδ芗昂暧^地圖功能。
10計算機(jī)要求:XeonCPU/8G內(nèi)存/500GB硬盤/DVD-RW光驅(qū)/24寸專業(yè)液晶顯示器。
11具備升級為原子力功能。